大气压射流冷等离子体产生和特性研究.pdf

中国科学技术大学博=b论文 摘要 摘要 大气压放电因为不需要真空系统，便于工业应用。正是这个原因，有关大气 压产生稳定的非平衡等离子体的放电，特别是大气压辉光放电的研究，已经成为 国内外低温等离子体领域的一个研究热点。 近来，几种新颖的大气压等离子体源装置被研制出来，例如，一个大气压均 匀辉光放电、大气压表面放电和大气压射流冷等离子体等。 大气压射流冷等离子体由于等离子体可以形成在放电区域之外，而且气体温 度较低，用于材料处理时不仅减小了高温对物体表面带来的损伤，而且还可克服 放电区域狭小给处理工作带来的不便，有利于处理体积大或复杂的物体，而且大 气压射流冷等离子体可以在开放的环境中通入其他(非空气)气体进行工作，可 以说大气压冷射流等离子体是大气压下产生非平衡等离子体的一种新的形式，已 经受到越来越多的关注。 但是目前大气压射流冷等离子体的气体温度还是比较高的，达到50．3000C， 这样就不适合处理一些不耐高温的物体；此外这种等离子体装置的处理面积较 小，有待进一步改进。 为了改进大气压射流等离子体的不足，我们设计了几种大气压射流冷等离子 体发生器，并作了一系列的实验研究。大气压射流冷等离子体的气体温度大约为 25．300C，低于目前己报道的大气压射流等离子体的气体温度50．300。C。我们通 过改变喷嘴的形状来增大等离子体处理面积。对大气压射流等离子体的放电特性 进行了研究：当固定电压峰值为12kV，电源频率在2．1lkHz之间时，产生大气 压射流冷等离子体的放电主要以丝状放电为主：电源频率在12．16kHz之时，放 电主要以“类辉光放电”为主。当固定频率为7kHz改变电压时，我们发现随着 电压的增加，产生大气压射流冷等离子体的放电由丝状放电为主向“类辉光放电” 为主转变。我们利用发射光谱诊断手段对大气压射流冷等离子体的特性进行研 究，通过费米．狄拉克模型对不同频率下的大气压射．流冷等离子体的电子激发温 度进行了计算，发现不同频率下的电子激发温度在考虑实验误差的情况下变化很 小，说明在固定电压下电子激发温度受频率的影响不大。此外，我们还利用等效 电路的方法推导和计算了同电压峰值不同频率下放电气隙的传导电流和加在放 电气隙的电压，并根据传导电流对不同频率下的大气压射流冷等离子体的电子密 中国科学技术大学博士论文 摘要 度进行了估算。 由于大气压射流冷等离子体的气体温度低，我们将它用于灭菌试验。对大肠 杆菌和枯草杆菌的灭菌结果表明，当等离子体接触到菌种时，等离子体的灭菌效 果要好于没有接触的情况。我们还利用发射光谱对大气压射流冷等离子体的活性 成分进行了初步分析，并利用紫外吸收谱测得射流冷等离子体产生的臭氧含量为 1．0x1016cm-3。 大气压射流冷等离子体被用于聚丙烯(PP)和苯二甲酸乙二酯(PET)纤维 的表面改性研究。在射流冷等离子体处理之后，PP和PET与水的接触角明显减 小，放置在空气中60天后两种聚合纤维与水的接触角有小幅的回升。我们利用 红外吸收谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)对聚合纤维表面的化学改变进 行了研究，发现在经过等离子体处理以后，聚合纤维表面出现了～C=O， ．OH，C．OH和COO．这样的含氧极性基团。其中，在处理后的PP表面上出现了 显示PET纤维表面在处理后变得粗糙，而PP纤维表面在处理后则没有明显的变 化。 我4flN用大气压下平行平板电极DBD放电等离子体化学气相沉积和大气压 射流冷等离子体两种方法进行类二氧化硅薄膜的沉积实验研究。大气压下平行平 板电极DBD放电等离子体化学气相沉积的工作气体分别用了氩气和氮气，而大 气压射流冷等离子体的工作气体是氩气。六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为硅和 氧的先驱粒子。运用红外吸收光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)对沉 积薄膜进行结构分析。红外吸收谱分析呈现出明显的Si．O．Si吸收峰，有机硅的 含量也随HMDSO的含量的增加而迅速增加很快趋于饱和。大气压下平行平板 电极DBD放电等离子体化学气相沉积得到的类二氧化硅薄膜中[Si]／[O]的含量比 为1：1．18，而大气压射流冷等离子体沉积得到的类二氧化硅薄膜的[Si]／[O]含量 比为1：1．89。从硅氧含量比来看大气压射流冷等离子体能够更