X射线将能改变基板检查的常识独特的“平面CT”技术生成高.pdfVIP

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2017-09-05 发布于重庆
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X射线将能改变基板检查的常识独特的“平面CT”技术生成高.pdf

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外形尺寸系统规格 ■ 型号 BF-X2 160kV: 855 mm 解析度 1 – 25 μm (少于或等如 5 μm 时需使用治具) 225kV: 1030 mm × × 检查基板尺寸范围 50 100 - 460 510 mm 独特的“ 平面 CT”技术生成高精度三维数据基板厚度范围 0.5 mm - 4.0 mm 基板平整度 +/-2 mm