犓犇犘晶体加工表面的亚表面损伤检测与分析.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ １１ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．１１ 　 　 　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　 　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ １１ Ｎｏｖ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７１１１７２１０６ 　 犓犇犘晶体加工表面的亚表面损伤检测与分析 吴东江，曹先锁，王强国，王 奔，高 航，康仁科 　 　 （大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁 大连 １１６０２４） 摘要：采用截面显微法和择优蚀刻法分别对磷酸二氢钾（ ）晶体从线切割样品制备到磨削、抛光亚表面损伤进行检 ＫＤＰ 测，利用 ＯＬＹＭＰＵＳＭＸ４０光学显微镜对表面腐蚀现象与亚表面裂纹形状进行观测，并对裂纹深度进行测量。结果表 明，由线切割产生的亚表面损伤裂纹形状以“斜线状”为主，裂纹深度最大值为 ８５．５９ ｍ；由＃６００砂轮磨削产生的亚表 μ 面损伤深度最大值为 。在（ ）晶面出现了四方形的分布密度较高的位错腐蚀坑；而在三倍频晶面上出现的是 ８．５５ ｍ ００１ μ 密度较低、形状类似梯形的位错腐蚀坑。该研究为 ＫＤＰ晶体亚表面损伤提供了一种检测与分析手段。 关 键 词： 晶体；损伤检测；裂纹形状；裂纹深度 ＫＤＰ 　 　 中图分类号： 文献标识码： Ｏ７８６ Ａ 　　 犇犪犿犪犲犱犲狋犲犮狋犻狅狀犪狀犱犪狀犪犾狊犻狊狅犳犿犪犮犺犻狀犲犱犓犇犘犮狉狊狋犪犾狊狌犫狊狌狉犳犪犮犲 犵 狔 狔 ， ， ， ， ， ＷＵＤｏｎｉａｎ ＣＡＯＸｉａｎｓｕｏ ＷＡＮＧＱｉａｎｕｏ ＷＡＮＧＢｅｎ ＧＡＯＨａｎ ＫＡＮＧＲｅｎｋｅ ｇｊ ｇ ｇｇ ｇ （ 犓犲犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅狉犘狉犲犮犻狊犻狅狀犪狀犱犖狅狀狋狉犪犱犻狋犻狅狀犪犾犕犪犮犺犻狀犻狀 犜犲犮犺狀狅犾狅 狅 狋犺犲 狔 狔犳 犵 犵狔 犳 ， ， ， ） 犕犻狀犻狊狋狉 狅 犈犱狌犮犪狋犻狅狀 犇犪犾犻犪狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犇犪犾犻犪狀１１６０２４犆犺犻狀犪 狔 犳 狔 犳 犵狔 ：