电沉积AgSn偶界面反应及其动力学.pdfVIP

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文章编号:1004-0609(2009)05-0930-06 电沉积Ag/Sn 偶界面反应及其动力学 1 2 2 2 汤文明 ,HE An-qiang , LIU Qi , IVEY G D (1. 合肥工业大学 材料科学与工程学院,合肥 230009 ; 2. Department of Chemical and Materials Engineering, University of Alberta, EdmontonT6G 2G6, Canada) 摘 要:采用扫描电子显微镜(SEM)、电子能谱仪(EDS)、X 射线衍射仪(XRD)对室温时效及 125~225 ℃热处理的 电沉积Ag/Sn 偶反应区结构及相组成进行分析,研究 Ag/Sn 界面固相反应的动力学过程。研究表明:在刚电沉积 的Ag/Sn 偶中发生 Ag/Sn 界面固相反应,形成 Ag Sn;在室温时效过程中Ag Sn 层生长缓慢,但随着热处理温度 3 3 的提高(125~200 ℃) ,Ag3Sn 层生长速率显著提高;Ag/Sn 界面固相反应为一扩散控制的反应过程,反应的激活能 为 70.0 kJ/mol 。 关键词:电沉积;电子封装材料;界面反应;反应动力学 中图分类号:TQ 153.2 ;O 643.1 文献标识码:A Interfacial reaction and its kinetics of electroplated Ag/Sn couples 1 2 2 2 TANG Wen-ming , HE An-qiang , LIU Qi , IVEY G D (1. School of Materials Science and Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China; 2. Department of Chemical and Materials Engineering, University of Alberta, EdmontonT6G 2G6, Canada) Abstract: The microstructures and phases of reaction regions of the electroplated Ag/Sn couples were studied by using SEM, EDS and XRD, after the couples were aged at room temperature and annealed at 125−225 ℃ for various times. The interfacial reaction kinetics of the Ag/Sn couples was also investigated. The results show that in the as-deposited Ag/Sn couple, the reaction between Ag and Sn occurs to form a thin Ag3Sn layer distributed at the Ag/Sn interface. The growth of the Ag3Sn layer is much slow when the couple is aged at room temperature, however, dramatically increases with

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