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江锡顺 等 :衬底温度对 Zn S 薄膜微结构和应力的影响 1121 衬底温度对 Zn S 薄膜微结构和应力的影响 江锡顺 ,曹春斌 ,蔡 　琪 ,宋学萍 ,孙兆奇 (安徽大学 物理与材料科学学院 ,安徽 合肥 230039) 摘 　要 : 　采用射频磁控溅射法分别在不同温度衬底 测量分析 Zn S 薄膜的微结构 。XRD 的 X 光管为 Cu α 上制备了厚度为 320nm 的 Zn S 薄膜 ,用 XRD 和光学 靶 ,Cu K 射线波长为 0 . 154056nm 。管压为 40kV ,管 相移技术研究了不同衬底温度下薄膜的微结构和应