酸性氯化铜蚀刻废液电解再生工艺阳极的筛选研究.pdfVIP

2011年全国电子电镀及表面处理学术交流会论文集 酸性氯化铜蚀刻废液电解再生工艺阳极的筛选研究 徐海清·，钟洪胜，胡耀红，陈力格，张招贤，赵国鹏 (广州市二轻工业科学技术研究所，广东广州510663) 摘要：采用热分解法制备了8种涂层阳极，通过循环伏安曲线测试、极化曲线测试、强化寿 命测试研究了不同涂层在含氯体系中的电催化性能，结果表明，RT6涂层阳极在酸性蚀刻废液电解 再生工艺的阳极电流密度范围内具有最高的析氯电位，强化寿命高(538h)，涂层成本也最低，是酸 性蚀刻废液电解再生工艺用的最优阳极。 关键词：DSA阳极：酸性蚀刻液：电化学法：极化曲线；再生 中图分类号：0646；TGl74．4l Thefiltrationoftheanodeofelectrochemical regenerationprocess ofacidic chloridechiO trent clrDUCtnahctE pric XU CHEN Zhao-xian,ZHAO Hai-qing，ZHONGHong·sheng，HUYao-hongLi·ge，ZHANG Guo-peng ofanodeswere thermal Abstract：Eighttypes preparedby decomposition，theelectro-catalytic ofthe inthechloric were voltammetric performancecoatings system investigatedthrough curves， curvesand life acceleratedtests．TheresultsindicatedthattheRT6anode the polarization possesshighest chlorineevolution inthe oftheanodiccurrent whichaccordwiththe potential range density electrochemical ofacidic chlorideEtchant．Theacceleratedlifeteststimewas regenerationprocess cupric costofthe Was theRT6anode anodeto the 538h，the Iowest，SO iSthe acidic coating optimal regenerate chlorideEtchant method． cupric byelectroiytic words：DSA Key anode；acidic curve；regeneration etchant：electrochemical：polarization 前言 酸性氯化铜蚀刻液具有蚀刻速率快，溶铜容量高、易控制等优点，是目前PCB企业应用最为广 泛的蚀刻液【l】，蚀刻液经蚀刻工序后会产生大量的蚀刻废液，造成环境污染和铜资源的严重浪费。 采用电解法再生酸性蚀刻废液，可以在阳极再生蚀刻液的同时进行阴极沉积回收铜过程，而且基本 没有废液、废气的排出，是蚀刻液回收的研究热点。