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高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积CrN薄膜研究.pdfVIP

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  • 2017-09-04 发布于安徽
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高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积CrN薄膜研究.pdf

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    第31卷第4期 真空科学与技术学报 CHINESE OFVAC删SCIENCEANDTECHN010cY 459 2011年7,8月 JOURNAL 高功率脉冲磁控放电等离子体 注入与沉积CrN薄膜研究 吴忠振田修波。 王泽明 巩春志 杨士勤 (哈尔滨工业大学现代焊接与连接国家重点实验实哈尔滨150001) GrowthofCrNFilmsPlasmaIon by Basedon PowerPulsed High Magnetron Discharge

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