硫氰酸铵法制备氧硫化碳工艺条件的研究.pdf

硫氰酸铵法制备氧硫化碳工艺条件的研究 王筠 (核T业理化T程研究院．特气中心．天津津塘公路168号．300180) 摘要：本义是存确定rF艺方法为硫氰艘铵法的基霜lf上．对氧硫化碳的制备T艺条件进行研究。最终确定硫酸浓度及反应温 度对制备氧硫化碳产牢、产赶的影响；确定碱洗塔的碱液浓度对酸性气体的去除效果及对氧硫化碳的影响。 关键词：硫氰酸铵法；制备；氧硫化碳；工艺条件；研究 Researchof carbon sulfide conditions oxygen preparation the ofammonium by way thiocyanate 、7ICANGJun institute andchemical ofnuclear center (Reserchofphysical engineeringindustry．Reserchofspecialgases，Tianjin．300180) Abstract：This articleis ontheammonium researchtheconditionsof carbonsulfide method．to basing thiocyanate oxygen todeterminetheconcentrationsofsulfuricacidandreaction whichonthc ofcarbon preparation．Finally temperatures preparation rate sulfideand theeffectofacid andcarbon sulfideofthealkaliconcentrationsin oxygen yield．Determining gascs oxygen washing towet． 氧硫化碳又名羰基硫或羰酰硫。它是合成硫代氨基甲酸酯类农药和杀虫剂的重要原料．是·种重要的 医药中间体．是一一种重要的粮食熏蒸剂。川 近年来．氧硫化碳被发现在集成电路刻蚀T艺中有特殊的功效．世界上最领先的集成电路制造商已建 立了以氧硫化碳为原料的芯片刻蚀生产线．并且该T艺有向所有集成电路制造商扩散的趋势。 本文足在确定厂制备路线为硫氰酸铵法的前提下．对氧硫化碳的制备’r艺条件进行研究．．建茳一套实 验室制备装置。根据不同原料浓度、不同反应温度、及不同碱液浓度建立实验方案．在实验摩装置上开展 实验。 1 原理 1．1 实验原理 采用硫氰酸铵法制备氧硫化碳反应方程式为： NH6(：N+H2SO,+H20—+COS+(NH·)2SO· 主要剐反应产物为CO、CO：、S、H§等。121 1．2物料主要物化性质 57 表1 物料主要物化性质表 物料名称 主要物化性质 1： 熔点(100kPa)：一138．8l 沸点(101．325kPa)：一50．2℃ 液体密度(一50．2℃．101．325kPa)：I178kg／m’ 氧硫化碳 气体密度(气体．20℃．101．325kPa)：2．527kg／m’ (cos),1 相对密度(气体．20℃．1