陶瓷表面金属化镀层中Ti原子定向扩散的研究.pdfVIP

VoLl7 第17卷增刊2 材料科学与工艺 sup．2 2009年12月 Dec．．2009 MATERIALSSCIENCETECHNOLOGY 陶瓷表面金属化镀层中Ti原子定向扩散的研究 张永清1， 阴生毅1， 任家烈2， 李玉竹1， 郑晓阳1 (1．中国科学院高功率微波源与技术重点实验室，北京100190；2．清华大学机械工程系，北京100084) 摘要：对辉光离子轰击下si，N。陶瓷表面复合电镀层中Ti原子的扩散现象及扩散机理进行了研究．研究 发现，辉光离子轰击不仅可使电镀镍钛层中Ti原子向si，N。陶瓷界面作定向扩散，在陶瓷界面处形成Ti原 子的富集，而且可以促进陶瓷界面化学反应的进行，生成Ni，si、Ni：si、Ni5si：和Ti，Si，等多种化合物．进一步 分析认为，辉光离子轰击在镀层表面