Si%2fCe化学气相共沉积制备抗结焦涂层的研究.pdfVIP

第15次全国乙烯年会 ·549· Si／Ce化学气相共沉积制备抗结焦涂层的研究 郏景省，王申祥，王红霞，王国清 摘要：对Si／Ce化学气相共沉积在裂解炉管内表面制备抗结焦涂层进行了研究。通过EDS、SEM、 XRD对硅沉积涂层和硅铈共沉积涂层进行表征，发现Ce的加入可以减少沉积过程中C元素在涂层中的 沉积，从而在炉管内表面得到致密、平整的涂层。石脑油裂解实验表明，硅铈共沉积涂层表现出了较优的 抗结焦能力，经过6周期石脑油2h裂解试验后结焦抑制率依然保持在50％以上，该涂层对裂解产物的三 烯收率影响不明显。 关键词：化学气相沉积；涂层；抑制结焦 乙烯是石油化工行业最重要的基础原料之 一。目前管式炉热裂解烃类制乙烯是世界上广泛 应用的方法，但是在乙烯的生产过程中一个无法 制备方法有高温渗透、磁控管溅射、等离子粉末焊 避免的难题是裂解装置在服役过程中的结焦和渗 接等，一般用于新炉管，工艺较复杂，需要大型设 碳。在裂解过程中的结焦会使炉管内径变小，管