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第 34 卷第 12 期 光 子 学 报 Vol . 34 No . 12
2005 年 12 月 December 2005
A C TA P HO TON ICA SIN ICA
激活台内透射式 GaA s 光电阴极的光谱
响应特性研究
1 ,2 1 ,3 1 1
杜玉杰 杜晓晴 常本康 钱芸生
( 1 南京理工大学电子工程与光电技术学院 ,南京 2 10094)
(2 滨州学院物理与电子科学系 ,山东滨州 256603)
(3 重庆大学光电工程学院 ,重庆 400044)
摘 要 利用在线光谱响应技术 ,对透射式 GaA s 光电阴极在高温激活和低温激活后的光谱响应
特性进行了测试 ,计算并比较了高温激活和低温激活后阴极的积分灵敏度和光谱响应特性参数. 结
果发现 ,与高温激活相比,低温激活后 GaA s 光电阴极的积分灵敏度提高了 13 % ,低温激活后阴极
的截止波长和峰值波长均向长波有微小偏移 将已获得的测试曲线与铟封后的三代像增强器的光
谱响应曲线进行了比较 ,结果发现铟封前后的光谱响应曲线存在明显差异
关键词 GaA s ;光电阴极 ;光谱响应 ;在线测试 ;激活
中图分类号 TN2 14 文献标识码 A
过程中的透射式 N EA 光电阴极进行 了测试 ,获得
0 引言
了激活过程中的在线光谱响应 曲线 , 从而为 N EA
( )
透射式 GaA s 负电子亲和势 N EA 光 电阴极 光电阴极的性能评估 、激活工艺及其机理的研究提
是三代微光管的核心器件 ,决定了三代微光管的总 供了重要参考
体性能 对于已铟封好的三代像增强器 ,其光电发
1 在线光谱响应测试
射性能已经可以通过多种测试手段来进行表征和评
估[ 1~4 ] ,但对于激活过程中处于超高真空系统激活 图 1 给出了光谱响应测试仪原理图 测试时 ,
台内的 GaA s 光电阴极 ,却缺乏有效的测试手段 ,通 光源发出的光经单色仪分成单色光 ,然后通过光纤
常只能获得白光照射下光电流随激活时间的变化曲 把单色光引向被测阴极 , 阴极接受光照后产生光电
线 由于缺乏光电阴极全面和准确的光 电发射性 信号 ,经微弱信号检测电路检测 、放大后 , 由A/ D 卡
能 ,这在很大程度上限制了阴极激活工艺水平的进 实现模/ 数转换 ,最后输入计算机 ,计算机将输入的
一步提高 信号和对应的单色光辐射功率进行软件处理 ,就得
本文利用自行研制的光谱响应测试仪 ,对激活 到阴极的光谱响应曲线[ 5 ,6 ]
图 1 光谱响应测试仪原理方框图
Fig . 1 Principle p ane diagram of sp ect ral respon se mea surement in st rument
利用光谱响应测试仪对激活过程中的透射式
N EA 光电阴极进行在线测试 ,需要设计超高真空激
活室与测试仪之间的接口装置 图2 给出了光谱响
应在线测
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