射频磁控溅射制备铝酸锶长余辉发光薄膜.pdfVIP

第 7卷 第 3期 材 料 研 究 与 应 用 Vo1．7，No．3 2013年 9月 MATERIAISRESEARCH AND APPIICAT10N Sept．2013 文章编号：1673—9981(2013)03—0188—05 射频磁控溅射制备铝酸锶长余辉发光薄膜* 谢 伟 ，梁 枫 ，邹长伟，唐美蝶，邵乐喜 湛江师范学院物理科学与技术学院，广东 湛江 524048 摘 要：采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备稀土掺杂铝酸锶薄膜 ，在 900℃和 1100℃下、弱还 原气氛中退火，分别得到SrAI。O ：Eu ，D 和Sr4A1Ozs：Eu ，Df。。长余辉发光薄膜．结果表明： SrA1z04结构是形成 srA1()2相结构的中间相；在 360l1m激发光激发下，SrA10 ：Eu ，Df。。薄膜 发光峰位于517nm处左右 ，发光强度相对略高于 srAl02s：Eu ，Df’。薄膜 ，且后者发光峰位于490 nm处左右；Sr4A1l4O25：Eu ，Df’。薄膜的余辉性能优于SrA12O4：Eu ，Df 薄膜． 关键词：磁控溅射；铝酸锶；长余辉 ；薄膜 中图分类号：0482．3 文献标识码 ：A 长余辉发光材料是一种可以吸收太阳光并对外 发光的新能源材料，由于其有吸光蓄光的特点，一直 1 实验部分 以来受到广泛关注_1_3_．早期的长余辉发光材料主要 为硫化物体系，由于其化学稳定性较差，且对环境造 1．1 靶材和薄膜制备 成污染，因此应用受到限制．近年来，稀土掺杂铝酸 采用高温固相法制备靶材．首先根据Sr4A1()2： 盐和硅 酸盐长余 辉发光 材料得 到 了广 泛地研 Eu ，Dy 化学计量 比例，准确称取 SrCO。(分析 究 ．由于铝酸盐体系的发光材料具有亮度较高、 纯)、Al2O3(分析纯)、Eu2O3(纯度为 99．996／)及 余辉时间较长等特点，因此广泛地应用于暗处照明、 DyO。(纯度为 99．9 )原料和少许助溶剂 H BO。． 工艺品及外墙涂料等 中．一般是将铝酸盐长余辉发 然后将上述原料放人球磨机 中球磨 24h，使各原料 光粉体经球磨后与有机物浆料混合并涂抹成厚膜 ， 均匀混合后装入刚玉坩埚 内，在 1200℃下预烧 4h 以实现 自发光功能．但长余辉薄膜的应用相对较为 后随炉冷却，取出、粉碎 ，再次球磨 24h，之后压成直 滞后，目前有报道_ll，将长余辉薄膜应用于二维温 径为60cm、厚度为3mm的圆片 ，在 1400℃高温下 度传感器中，利用不同温度下余辉性能的差异来监 置于弱还原气氛中(H。和N。气体的体积分数分别 测温度 的变化．长远来看，可以将长余辉薄膜应用于 为 1O 和 90 )保温 4h后随炉冷却，取出即可得 微纳光电子器件 、薄膜太阳电池 、显示材料及器件 、 到稀土掺杂铝酸锶长余辉靶材． 。生物工程等领域 中． 用国产 FJL560II型超高