压电传感器横向灵敏度改善方法.pdfVIP

中国科技信息2014年箢 13期 ·CHINASCIENCEANDTECHNOLOGYINFORMATIONJun．2014 实用技术推广 压电加速度传感器横向灵敏度产生的原因有很多。(1) 一 沿机械轴Y方向施加的作用力 (N)； 结构设计不合理。压电加速度传感器有很多种结构型式， a～石英晶体切片沿Y轴方向的尺寸； 压缩式、剪切式等，不同的结构对横向灵敏度的影响是不 一 石英晶体切片沿 X轴方向的尺寸。 一 样的。 (2)机械加工精度不够。压电加速度传感器中 由式 (卜3)可知，要减小横向信号输出即减小横向 的零部件，它们的表面粗糙度、形位精度等都会使装配后 灵敏度，在切割石英压电元件时，应尽量增大X轴方向的 的压电加速度传感器的最大电信号灵敏轴与主轴方向不重 尺寸而减小Y轴方向的尺寸。 合，从而输出横向电信号。 (3)装配精度不够。装配工 艺是加速度传感器生产中的一个重要环节，实验表明，装 配精度不够所带来的误差很容易造成横 向灵敏度超差现 象。除此之外，压电元件本身的横向压电效应以及压电元 件 自身各部分的压电常数不一致等也是产生横 向灵敏度的 原 因。 横 向灵敏度 比指标集中反映了一只压 电加速度传感器 的内在质量缺陷，它是衡量压电加速度传感器质量的一项 极其重要的技术指标。国家标准规定，振动用的加速度传 感器横向灵敏度比应小于5％，冲击用的加速度传感器横 向灵敏度I~Ld,于 10％。由此可见，采取措施减小压 电传感 器的横向灵敏度误差具有一定的现实意义：一方面，它能 进一步提高压电传感器的使用性能，为高冲击下的精确测 Fxt 量提供可靠的数据；另一方面，它可以提高该指标的合格 图2 石英压电元件 率，降低成本，为企业增加经济效益。 3．2 减小零件形位误差及表面粗糙度 3 减小横向灵敏度的方法 压 电加速度传感器中压电元件、质量块、壳体、基座 等零件，它们两表面的平行度、圆柱面与端面的垂直度、 3．1 采用合理的结构及尺寸 表面的粗糙度误差等过大都会导致装配后传感器其主轴与 压电传感器产生横向灵敏度的主要表现就是有横向电 最大电信号灵敏轴不重合，从而产生横向灵敏度。因此， 信号输出，因此，减小横 向信号输出是减小横向灵敏度的 对零件的关键表面，在考虑加工成本的基础上，尽量使形 有效途径。从结构上说，压电加速度传感器分为压缩型 (通 位误差和表面粗糙度越小越好 。为了满足国家标准对横 向 过拧紧质量块对压电片施加预压缩力)和剪切型 (利用压 灵敏度大小的要求，一般来说，对于零件关键表面之间的 电元件受剪切应力而产生压电效应)。剪切型结构具有很 不垂直度和不平行度的允许误差要求应根据具体的几何尺 高的灵敏度，而且横向灵敏度小，其他方 向的作用力造成