溶胶凝胶法在3DSiC陶瓷表面浸涂Al_2O_3薄膜的研究.pdfVIP

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2017-09-02 发布于重庆
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溶胶凝胶法在3DSiC陶瓷表面浸涂Al_2O_3薄膜的研究.pdf

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·48· 材料导报：研究篇溶胶一凝胶法在3D—SiC陶瓷表面浸涂A1203薄膜的研究’ 闫海乐，茹红强，喻亮，里景阳，魏文韬，岳新艳 (东北大学材料与冶金学院材料各向异性与织构教育部重点实验室，沈阳110004) 摘要 (氓)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的物相和显微结构，并检测了薄膜的抗热震性。结果表明，采用真空浸渍法在3D-SiC表面浸涂加入浓度0．22mol／LHN03制备的rAI(X)H溶胶能烧结形成致密平整的A1203薄膜。升高烧结温度，魁(五晶粒长大，900℃时薄膜最致密且能观测到玻璃态显微结构。薄膜的抗热震性随烧结温度升高而提高。关键词溶胶一凝胶法真空浸渍法～203薄膜三维网络碳化硅抗热震性 Researchof ontheSurfaceof3D-SiCCeramics Method FiIm A1203 by Sol—gel YAN Wentao，YUE Haile，RU Liang，LIJingyang，WEI Hongqiang，YU Xinyan for andTextureofMaterialsofthe ofEducation，Schoolof Laboratory Ministry (Key Anisotropy Northeastern 110004) University，Shenyang Abst憎dThe of thinfilmis the method，inwhich preparationprocessAlz03 mpr鹤emedby sol-gel A1(N03)3· as and assolventand andvacuumim— 9H2()isused HN03 precnsor，water peptizingagent，respectively．Dip-coating methodsareusedtocoat SOlsolutionOnthree-dimensionslsiliconcarbidesinteredatdifferent pregnation rAl00H tofom electmniemicro— A12(兔thinfilm．X-raydiffraction(Ⅺm)，infraredspectrometry(IR)，scanning temperature the USedto themicrostructureand constitutionof film．The shows scope(SEM)arestudy phase investigationclearly thatthethinfilmwhich from SOlsolutionadded