探针加工技术的新进展及等离子体加工技术的研究.pdfVIP

扫描探针加工技术的新进展及扫描 等离子体加工技术的研究 王 　海 , 褚家如 , 赵 　钢 ( 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 , 安徽 合肥 230027) ) Email :kingwang @mail . ustc . edu . cn 摘要 : 扫描探针加工技术作为一种无掩模微细加工手段以其所需设备简单和加工精度高达纳米量 级等优点 ,近年来受到广泛的重视和研究 。但 目前扫描探针加工技术存在加工效率低 、可重复性 差 、可加工材料非常有限等缺点 。采用探针阵列并结合其他加工技术的并行工艺 ,可以提高加工效 率 ,拓展应用范围。本文以纳米喷流加工和蘸水笔纳米加工为例介绍了扫描探针加工技术这一方 面的最新进展 ,阐述了它们各自的基本原理和特点 。最后 ,提出了一种基于并行探针驱动的扫描等 离子体加工技术 ,结合了扫描探针加工精度高和等离子体加工适用材料广泛的优点 ,为小批量多品 种微系统和纳米器件的加工探索出一种新方法 。 关键词 : 扫描探针加工 ; 扫描等离子体加工 ; 蘸水笔纳米加工 ; 纳米喷流加工 中图分类号 : TN405 　文献标识码 : A 　文章编号 : 167 14776 (2003) 07/ 080 17704 Progress of scanning probe l ithography and study on scanning plasma etching technology WAN G Hai , CHU J iaru , ZHAO Gang ( Dep art ment of Precision M achi nery an d Precision I nst ru mentation , University of S cience Technology of Chi na , Hef ei 230027 , Chi na) Abstract : Due to it s simple st ruct ure and high resolution , scanning p robe lit hograp hy has att racted much attention . However , it still has some p roblems to be overcome , such as it s slow writing speed and limited machinable materials. Parallel operation combined wit h some new p rocessing scheme is ex pected to imp rove t he writing speed . Dip pen nanolit hograp hy and nanoj et microfabrication were dis cussed in det ail in t his p aper . A new design for scanning p robe lit hograp hy , microplasma etching ac t uated by scanning p robe array , will be reported . Key words : scanning p robe lit hograp hy ; scanning plasma etching ; dip pen nanolit ho grap hy ; nanoj et microfabrication