应用SiC反射镜表面改性技术提高TMC光学系统信噪比.pdfVIP

第 17卷 第 12期 光学 精密工程 Vo1．17 NO．12 2009年 l2月 0pticsandPrecisionEngineering Dec．2OO9 文章编号 1004—924X(2009)12-295207 应用 SiC反射镜表面改性技术 提高TMC光学系统信噪比 陈 红 ，王彤彤 ，高劲松 ，巩 盾 ，王笑夷。，郑宣鸣 ，申振峰 ，张忠玉 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进 制造技术重点实验室，吉林长春 130033；2．中国科学院研究生院，北京 1O0049) 摘要：为了消除SiC反射镜的固有缺陷，提高反射式光学系统的信噪比，使用 SiC表面改性技术对同轴三反射 (TMC)光 学系统的SiC反射镜进行了处理。首先，应用等离子体辅助沉积 (PIAD)技术沉积了一层 si改性层，接着对改性层进行 精密抛光 ，然后在反射镜表丽镀制Ag膜和增强膜，最后获得了表面改性对TMC光学系统信噪比的影响。Wyko轮廓仪 测试表明，SiC反射镜 的粗糙度 R 由 10．42nm 降低到了0．95nm；镀制高反射膜后 ，主镜、次镜 、三镜及折叠镜在 0．5～ 0．8f』m 可见光波段的反射率98 。计算结果表明，应用了表面改性技术后 TMC反射式光学系统的信噪比提高 了 5 以 卜，说 明SiC表面改性技术是一种提高 TMC光学系统信噪比的有效方法。 关 键 词 ：FMC系统；表面改性 ；SiC反射镜 ；信噪比 中图分类号 ：0484．4；THT03 文献标识码 ：A ImprovementofsignalnoiseratioofTM C opticalsystem bySiC surfacemodification technology (7HEN Hong ，W ANG Tongtong ，GAO Jin-song ，GONG Dun～，WANG Xiao—yi ZHENG Xuan～ming ，SHEN Zhen—feng 。。，ZHANG Zhongyu (1．KeyLaboratoryofOpticalSystemAdvancedManufacturingTechnology，Changchunlnstit“te oJOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences Changchun130033，China； 2．GraduateUniversity (}ChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) Abstract：A SiC surfacemodificationtechniqueWaSappliedtoaTMC (ThreeM irrorCoaxis)reflective opticalsystem toeliminatetheintrinsicdefectsofSiC mirrorsand to improvetheSignalNoiseRatio (SNR)ofthereflectiveopticalsystem． Firstly，aSilayerasamodifiedcoatingwasdeposited0nthe SiCmirrorsurface．Then，afinepolishprocesswasemployedinthemodifiedlayerandthehighreflec— tivecoatingscomposedofasilverfilm andenhancingfilmsweredepositedonthemirrorsurface ． Fi nally，theeffectofsurfacemodificationontheTMC reflectiveopticalsvstem was0htained