微注射成形制品质量影响因素分析.pdfVIP

第 45卷第 12期 机 械 工 程 学 报 V=0l|45 NO．12 2009年 12 月 JOURNALOFMECHANICALENGINEERING Dec． 2O09 DoI： 1O．3901／JME．2009．12．295 微注射成形制品质量影响因素分析 卢 振 张凯锋 (哈尔滨工业大学材料科学与工程学院 哈尔滨 150000 摘要：在不同工艺条件下进行聚合物和粉末微注射成形试验，制得微米级的聚丙烯和二氧化锆陶瓷微结构，微型腔采用感应 耦合等离子深槽刻蚀技术在硅模具镶块上加工。分析微注射成形工艺及硅模具对微结构的填充、尺寸精度及表面质量的影响。 不合理的工艺参数容易导致微结构出现填充不足、表面粗糙、气孑L等缺陷，提高模具温度和注射压力以及注射前模具抽真空 有利于微型腔的填充，模具抽真空还可以改善微结构件的表面质量。深槽刻蚀后的硅模具表面粗糙度为 0．31um，填充完好 的聚丙烯微结构及陶瓷微结构素坯表面粗糙度不再受注射工艺参数的影响，其值近似于刻蚀后的硅模具，亚微米级粉末的使 用可以明显改善烧结后陶瓷微结构的表面粗糙度。 关键词：微注射成形 硅模具 微结构 中图分类号：TH16 AnalysisoftheEffectsontheQualityofMicroInjectionMoldedProducts LU Zhen ZHANG Kaifeng (SchoolofMaterialsScienceandEngineering，HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001) Abstract：PolypropyleneandZrO2microstructuresarefabricatedrespectivelybypolymerandpowdermicroinjectionmoldingunder differentprocessconditions．Microcavitiesinsiliconmoldinsertaremanufacturedbyinductivelycoupledplasma(ice)etching process．Theeffectsofprocessconditionsandsiliconmoldonthefillingperformance，dimensionalaccuracyandsurfacequalityof microstructuresaredetailedlyinvestigated．Inappropriateinjectionconditionswillinducemanydefectssuchasunderfill，rough surfaceandhollow．Microstructurescanbefilledcompletelybyraisingmoldtemperatureandinjectionpressureandbyvacuuming themoldbeforeinjection，andthelattercarlalsoimprovethesurfacequalityofmicrostructures．Theroughnessofetchedsilicon moldsurfaceisabout0．31um．Ifmicrocavitiesarefilledcompletely,theeffectofinjectionparametersonthesurfaceroughnessof polymerandceramicgreenmicrostructuresisneglectable．Theyhaveapproximateroughnesswithsiliconmold．Sub—micronZrO2 powdercanimprovethesurfaceroughnessofsinteredceramicmicrostructures． Keywords：Microinjectionmolding Siliconmold Micro-·structure 等领域，其主体结构尺寸未必微型化，但表面具有 0 前言