氧化铬外延薄膜的射线研究.pdfVIP

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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 7K !6 (668 !6 , , , a,= $7K I, $ !6 ):,3; (668 ( ) !666XK(E6V(668V7K !6 VK7!6X67 G*1G [%_#‘*G #‘I‘*G %(668 *H2/ $ [HBA $ #, $ $$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$ 氧化铬外延薄膜的 射线研究! ! ) ) ) ) 杜晓松! # $ %’( ) $ * $ +,-,./0( 1 $ %234( !)(电子科技大学微电子与固体电子学院,成都 5!6678 ) ( )( , , , ) 9:;2= #2;/; *;/:; ?/2@;A2:B ,C D,/2/-;/ D,/2/-;/ EF8F GD :H; I;:H;=/JA ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿) (66K !6 (6 (66K !( (8 采用分子束外延技术( )在 ( )基板上沉积了氧化铬薄膜,并利用 射线衍射( )和 射线反射谱 9LM 9-) 66! N O+P N ( )对薄膜的晶体结构进行了表征 — 扫描和倒易空间图( )揭示出薄膜为单相 轴外延生长,晶体结构 O++ $ ! (! +#9 ! 为体心正交,晶胞常数 ,,分别为 , 和 扫描表明薄膜在面内 # ! 6 QRE86 S 6 Q666K 6 Q(ER S 6 Q666( 6 QKREF S 6 Q666(/4 $ 具有 孪晶,取向关系为 〈 〉, ( ) 谱测得薄膜的电子密度为 U K ,与由晶胞体 E6T 9-) !!6 ! 9-) 66! $ O++ !K76 S (6/4 积计算得到的电子密度非常吻合,表明薄膜的化学成分为 该物质在结构上等同于沿 〈 〉方向存在着 * ) Q 9-) !!6 ( K 有序的 空位,具有

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