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半导体晶圆制造多厂区订单分配问题研究.pdf

第 12卷 第 1期 上 海 电 机 学 院 学 报 Vo1.12No.1 2009年 3月 J0URNALOFSHANGHAIDIANJIUNIVERSITY Mat,2009 文章编号 1671—2730(2009)01—0053—04 半导体晶圆制造多厂区订单分配问题研究 许圣 良 , 马慧民 , 钱省三 (1.上海电机学院 经济管理学院,上海 200245;2.上海理工大学 管理学院,上海 200093) 摘 要:研究了半导体晶圆制造企业多厂区协同生产的订单分配计划问题,以产品的生产成本和 运输成本之和最小为 目标,构建了生产能力有限情况下的数学模型,提 出了用于求解该问题的二进制粒 子群算法方案,阐明了该算法方案的具体实现过程。对典型算例进行了仿真,结果表明,粒子群算法方 案的有效性和可行性。 关键词:半导体晶圆制造;多厂区;订单分配;粒子群算法 中图分类号:F406;TP29 文献标识码 :A ResearchontheOrderDistributionProblem ofMulti—location PlantsinSemiconductorFabrication XUShengliang , MAHuirnin , QIAN Xingsan (1.SchoolofEconomicsManagement,ShanghaiDianjiUniversity,Shanghai200245,China; 2.BusinessSchool。UniversityofShanghaiforScienceandTechnology,Shanghai200093,China) Abstract:Theorderdistributionproblem ofmulti—locationplantsinsemiconductormanufacturing isstudiedinthispaper.Themodelofthisproblem,ofwhichtheobjectistominimizethetotalcostof theproductioncostandthetransportationcostunderthesystem capacityrestriction,isputforward. Themethodbasedonthebinaryparticleswarm optimizationalgorithm isproposedtosolvethisprob~ lem.Therealizationdetailsoftheproposedmethodarethen illustrated.Anexampleispresented. SimulationresultsoftheexampledemonstratethattheBPSO approachiseffectiveandpromising. Keywords:semiconductorfabrication;muti—locationplants;orderdistributiom particleswarm optimizationalgorithm 半导体晶圆制造是一个规模经济的行业。企业 体晶圆制造企业台积 电在中国、美国和新加坡共建 要获得较好的发展必须建立多座晶圆制造厂以满足 了11座晶圆制造厂。由于各制造厂的资源配置存 不同地区客户的需求。如中芯国际在北京、上海、天 在较大差异,在现有的资源配置下,总公司如何将来 津、武汉和成都共建了9座晶圆厂,全球最大的半导 自不同客户的订单合理分配给各晶圆制造厂,协调 收稿 日期:2009~02—16 基金项目:上海市高校选拔培养优秀青年教师专项基金项 目(29—017—2);上海市教育委员会科研创新项目(09YS486) 作者简介:许圣 良(1982一),男,助教,专业方向为工业工程、智能优化研究 ,E-mail:xushengl@sdju.edu.cn

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