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3. 测量信号处理方面 R1 100 C1 0.005u V1 1Vac 0 V 3. 测量信号处理方面 温度分析 Time 0s 2.0us 4.0us 6.0us V(C1:2) 0V 2.5V 5.0V 40 C 35 C 30 C TD = 1us TF = 1us PW = 1us PER = 4us V1 = 0v TR = 1us V2 = 5v C1 R1 10 1n V1 0 V R = R0×N ×[1+tc1 ×(T-T nom)+ tc2 ×(T-T nom)2] 3. 测量信号处理方面 TD = 0 TF = 1ms PW = 1ms PER = 4ms V1 = -1V TR = 1ms V2 = 1V R1 1k 0 V2 V Time 0s 5ms 10ms 15ms V(R1:2) -1.0V 0V 1.0V Frequency 0Hz 0.5KHz 1.0KHz 1.5KHz 2.0KHz V(R1:2) 0V 1.0V 2.0V 3. 测量信号处理方面 TD = 0 TF = 0 PW = 1ms PER = 4ms V1 = -1V TR = 0 V2 = 1V R1 1k 0 V2 V Time 0s 5ms 10ms 15ms V(R1:2) -1.0V 0V 1.0V Frequency 0Hz 2.0KHz 4.0KHz 5.0KHz V(R1:2) 0V 0.5V 1.0V 3. 测量信号处理方面 倍压整流电路的仿真分析 ① ② ③ ④ ⑤ D2 D1 D3 D4 C1 C2 C3 C4 RL VS RS ① ② ⑤ ③ ④ D1 D2 D3 D4 C1 C2 C3 C4 RL VS RS RS1 C1 C2 C3 C4 D1 D2 D3 D4 RS2 RL VS1 VS2 R1 100k R2 100k ③ ① ② ④ ⑦ ⑥ ⑤ ( a ) 半波4倍压 ( b ) 全波4倍压 ( c ) 并列4倍压 3. 测量信号处理方面 0s 50ms 100ms 150ms 200ms 250ms 300ms 20kV 15kV 10kV 0V -5kV 5kV 半波4倍压整流电路的各部分波形 ① ② ③ ④ ⑤ 3. 测量信号处理方面 0s 50ms 100ms 150ms 200ms 250ms 300ms 20kV 16kV 12kV 0V -4kV 8kV 4kV 全波4倍压整流电路的各部分波形 ① ③ ④ ② ⑤ 3. 测量信号处理方面 一种实现脉冲电源与等离子体负载间匹配的方法 (ZL200510047271.3) 脉 冲 电 源 电弧离子镀 装 置 * v/(500V/div) i/(1A/div) 阻性负载 0 0 t/(20μS/div) u i u 0 0 i i/(1A/div) u/(500V/div) t /(20μs/div) 电弧离子镀负载 3. 测量信号处理方面 * 电弧离子镀脉冲偏压电源与负载的仿真模型 es L0 RP CP R0 Plasma load 3. 测量信号处理方面 * i u i /A u /kV 4.0 3.0 2.0 1.0 0 0 -0.5 -1.0 负载上电压和电流波形(仿真) t / (20μs/div) 仿真条件:E=680V, L1=100μH, R1=0.3Ω, RL=2kΩ, RP= 450Ω, CP=1800pF u 0 0 i t /(20μs/div) 负载上电压和电流波形(实验) u /(500V/div) i/(1A/div) 3. 测量信号处理方面 * 12 0 2 4 6 8 10 14 0.2 0 0.4 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 1.6 ω0t D=0.25 D=0.50 D=0.70 D=1.0 电弧离子镀负载回路对阶跃上升信号的响应 u2/u1 3. 测量信号处理方面 * 增加回路电感L0对脉冲波形前沿的改善效果 L0=3μH 0 40 0 10 20 30 50 60 70 80 t /μs 200 400 600 800 1000 u2 / V 1200 1400 (模拟条件: U1=700V
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