变焦f-theta镜与后扫描聚焦系统设计.pdfVIP

摘要 摘要 变焦系统由于其连续变焦的独特性质，在成像系统中有巨大的应用潜力。 f-theta镜是激光扫描系统的重要组成部分，被广泛应用在标刻机、雕刻机、激 光打印机、传真机等设备中。随着激光打标业的迅猛发展，人们对f-theta镜 的要求也越来越高，将变焦原理应用于f-theta镜，形成变焦的f-theta镜， 不但增加了透镜系统的功能，还大大降低了成本。但目前所设计的变焦f-theta 镜(维持像面稳定性)变焦范围不大，本文设计中我们利用像面可移动、后扫 描聚焦来实现大范围变焦，适用于尺寸差别较大的工件的加工，使实际操作更为 便捷。本论文主要的研究工作如下： 1．设计了工作于355nm像面固定的变焦f-theta镜。系统由四片透镜组成， 时分别为0．001 0．0042％、0．0069％，系统在零视场、0．7视场和全视场的光斑都在相应的爱里 斑以内，系统的MTF曲线接近相应的衍射极限曲线。 2．设计了工作于lO．6IIm像面可动的大范围变焦f-theta镜。系统由三片 对应于三个焦距，系统在零视场、0．7视场和全视场的光斑都在相应的爱里斑以 内，系统的MTF曲线接近相应的衍射极限曲线。系统的最大场曲分别为：0．295D、 足了现代激光打标机的要求。 u 3．设计了一个工作于10．6m的两片镜后扫描聚焦系统，通过改变两片透 镜之间的间隔实现连续变焦，同时配合扫描振镜的转动，可以实现平场扫描。 该系统的爱里斑最大直径为482．5mm，最小为440．9ram，与前扫描聚焦系统相 比，像面上的光斑更小、更均匀。 关键词：f-theta；变焦；畸变 Abstract Thezoomlens isof for duetoits systemgreatpotentialimagingsystems lensisoneofthemost elementsinthelaser speciality．F-theta important scanning is in laser usedthe system，which machine，the machine，the marking engraving the ofthelaser and facsimilemachines．Withtheswift marking printer development lens more．Whilecombinedwitllthezoomlens iS industry,gthemexpected principle, thezoomf-thetalenscomesinto anditaddstogthemlensfunctionsaswellas being decreasesthe cost．Sincemostofthef-themzoomlenses the design designedkeeps surface areacall’t hereanilnage image stability,thescanning rangelargely．But