大功率DC+Arc+Plasma+Jet+CVD制备微%2f纳米复合金刚石自支撑膜的研究.pdfVIP

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2017-09-01 发布于安徽
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大功率DC+Arc+Plasma+Jet+CVD制备微%2f纳米复合金刚石自支撑膜的研究.pdf

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ArcPlasma 大功率DC JetCVD制备微／纳米复合金刚石自支撑膜的研究。兰昊o’陈广超戴风伟李彬唐伟忠李成明宋建华 J．Askari黑立富佟玉梅吕反修 (北京科技大学材料科学与工程学院，北京100083) ArePlasma 摘要：在30kW级DC JetCVD装置下，采用Ar—H2一CH4混合气体，在钼衬底上制备出了复合金刚石自支撑膜，并对其表面和侧面分别进行了扫描电镜构由普通的多晶微米级金刚石薄膜和纳米金刚石薄膜组成，薄膜的表层结构体现了纳米金刚石的特征。复合金刚石自支撑膜不仅具有光滑的表面，并且微米层与纳米层问具有相互嵌套式的界面，这些特征均大大优于常规多晶微米级金刚石膜。关键词：直流电弧等离子喷射化学气相沉积；自支撑金刚石膜；微／纳米复合结构 Diamond Microcrystalline／NanocrystallineCompositeFree-standing Plasma Films in PowerDCArc JetCVD口 DepositionHigh LanHaooChen Dai LiBin LiChengming GuangchaoFengwei TangWeizhong Hei YumeiLilFanxlu JianhuaJ．Askari Song Lifu，Tong (SchoolofMaterialsScienceand ofScience Engineering，University and 100083) TechnologyBeijing，Beijing were 30kW Abstract：Thecomposite diamondfilms preparedbyusing free-standing DCarc chemical fed werea power plasmajet vapordepositionequipment．Thegases and1ateralsideofthe films mixtureof and surface Ar，H2 CH4．The composite wereevaluated electron diffraction usingscanning microscopy(SEM)，X—ray Raman resultshowsthatthe filmsconsist (XRD)and spe