范德华力作用下微梁粘附现象的研究.pdfVIP

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2017-09-01 发布于安徽
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范德华力作用下微梁粘附现象的研究.pdf

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2006全国摩擦学学术会议——纪念摩擦学40周年范德华力作用下微梁粘附现象的研究丁建宁，张建，凌智勇，杨平，范真 (江苏大学微纳米科学技术中心，江苏镇江212013) 摘要以两端固支的微梁为模型，通过在微梁与基底表面E涂覆低表面能的憎水性o，rs膜以除去接触面问的表面张力，把梁与基底均接地以除去接触面问的静电力，研究了仅有范德华力作用时的硅微梁结构的抗粘附稳定性．根据两接触面均为粗糙表面的微观实际接触模型，在接触表面产生塑性变形的情况下，计算了范德华粘附能大小，并分析了表面形貌对其影响，得到了租糙表面籀镘的微粱的抗粘附临界长度。关键词微纳器件；范德华力；粘附；稳定性；中图分类号THIl7 ofadhesionofmicrobeamundervanderwaaIsfoIces Study D烈G Jian,LNGYANG zhen Jianrling，ZHANGzhiyong。 pir马FAN adhesion micmbeamisstudied vallderwaals AbstractThe ofsilicon under forceswhenotherSU血,eforcesare eliminatedsome surfacesofthebeamandthesubstratearecoatedwith by techniques．The low-surface-energy to OTSmolecularfilmsremove forces．111ecantileverandthesubstrateale hydrophobic capillary electricallygrounded to between actualcontact eliminateelectrostaticforce the modeloftwo su／蕾acesandtheir them．considering rough influenceonthe wellasthe deformationinthe adhesionofthe adhesion,as contact,the modelundervan plastic enelgy derwaalsforcesis effectsofsurface ontheadhesionofvander calculated．Additionally,theroughness energy waals cantileversurface forcesale ofthe iscalculated． analyzed．Atlast,the length ofrough puIl-in wordsmicro-nano derwaals Key stmctmes；vailforces；adhesion；stabili够；随着微加工工艺的发展，目前已经制作出许多基于略不计时，范德华力对微机械表面粘附的影响将占微梁结构的微器件，如微型开关，微型传感器，原主导地位，尤其当器件尺寸减小到纳米量级时，对子力显微镜等，并已经得到广泛的应用。但微型器