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研究动态 基于单片机信息融合 实现对压力传感器的热漂移非线性补偿 摘要：本文应用Matlab 软件，结合实际测定的热零点漂移非抛物线关系及输入压力 和输出信号的非线性关系，基于传感器融合理论，融入环境温度信息，为智能化技 术提供一种算法和得到压力的解析表达式，同时利用单片机实现了它的非线性和温 度补偿。 关键词：压力传感器；热零点及灵敏度漂移；解析表达式；信息融合；非线性；单 片机 中图分类号：TP212.1 文献标识码：A 文章编号：1006-883X(2003)03-0001-07 赵彦晓 孙以材 田立强 王 静 一、引言 扩散硅压力传感器具有体积小、灵敏度高、动态响应快、使用方便等优点，但由于它是 半导体材料制成的，存在温度的影响，表现为环境温度的变化会引起传感器零点漂移和灵敏 度漂移，再加上其本身所存在的非线性问题，以及器件在封装加工过程中受到的应力影响， 测量精度难以满足精密压力测量的需要。 多传感器信息融合技术就是通过对多个参数的监测并采用一定的信息处理方法达到提 高测量精度的目的。在要求测量一个目标参量的场合下，为达到提高被测目标参量测量精度 的目的，视参量为干扰量，并消除其影响。 扩散硅压力传感器在输入压力相同的情况下，不同的环境温度会得出不同的输出值。本 文将介绍二传感器信息融合的处理方法，推导出传感器输出信号的最佳拟合表达式，得出带 温度参数的压力的解析表达式，并融合了温度传感器的测量结果。还介绍了智能化的系统结 构，融合的方法及硬件连接原理，可通过单片机控制实现传感器的非线性补偿和温度补偿。 二、融入环境温度信息的压力解析表达式 压力传感器的输出信号U 可以由两部分组成： t Ut U 0 (T , V) U(P , T , V) （1） 0 其中，U 为压力为零时的输出，称为零点，与温度和外加电压V 有关。U 为与压力有关的 有效信号。 又：U(P ,T , V) (1 a T)S PV （2 ） s 0 其中：S —温度为零度时的压力灵敏度； 0 传感器世 界 1 2003.3 S—压力灵敏度，与传感器的膜厚、膜面积 i = 0,1,2, …m (9) 及力敏电阻条的设计布置有关。 当解出n 个有限的a 值：a 、a ．．．a ．．．a