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铝基复合材料基体上制备梯度硬质涂层的研究 郑静地王启民宫骏孙超 中国科学院金属研究所表面工程研究部，沈阳110016 AI复合材料基体上制备(Ti，A1)N缝鏖堡墨。研究了氮分压对涂层的沉 摘要：利用宅垩塞王堡蒸垄在sic一2024 积速率、形貌和力学性能的影响。在添加Ti过渡层时．涂层与基体形成致密均匀的良好结合。同时通过设计梯 ·_‘‘’●F 度涂弦，获得了无裂纹厚度达60岬的(Ti，A1)N涂层。 前 言 SiC颗粒增强铝基复合材料由于具有较高的比强度、比刚度和良好的耐热性等优异的性能， 在航空航天和汽车工业领域得到了广泛的应用【1J。在实际应用中，由于铝基体硬度较低，在处 于相对的滑移、旋转或振动的摩擦系统中，在未经表面处理又没有润滑的条件下，极易产生磨损 失效，改善铝基复合材料部件表面的耐磨性对于提高其使用寿命具有重要意义。 物理气相沉积硬质耐磨涂层技术的采用可以有效地降低各类零部件的机械磨损、化学腐蚀和 高温氧化倾向，在使用复合材料航空零件的表面涂覆耐磨涂层，可以提高零件的耐磨性能、可靠 性，延长其使用寿命。八十年代以后，较为常用的硬质耐磨涂层主要是TiN、TiC等。近来在TiN 比TiN更好的高温抗氧化性，成为人们研究的热点【“】。但是到目前为止，大多数硬质耐磨涂层 只是在硬质合金或钢基体上表现出了较好的性能tr,-rj，而在诸如铝合金、铝基复合材料等硬度较 低的基体上利用气相沉积技术制备高质量硬质耐磨涂层技术尚不成熟。主要原因包括基体硬度 低，与硬质涂层的力学性能相容性差；而且铝合金与硬质涂层的热膨胀系数相差较大，从而产生 较大热应力，容易导致涂层制各时的开裂与剥落，这都限制了硬质涂层在该类材料中的应用。另 一方面硬质涂层在某些特殊部件特剐是精密零件上的应用需要考虑到加工余量的选择，但由于涂 层应力随厚度的增加而增大，涂层过厚易从基体剥落， 所以制备厚硬质涂层也是一个亟待解决 的问题。本文利用电弧离子镀技术在铝基复合材料基材上制备出了高质量fri，A1)N涂层，并对 厚的硬质涂层制各工艺、组织及力学性能进行了研究。 一、实验材料和方法 59 GPa，热膨胀系数q为16～ 材料采用粉末冶金法制备。SiCp／2024A1复合材料弹性模量E为105 、 18×10。6℃～， 密度p为2．8g／crn3。 基体尺寸为(1)20x10 mm，试样分别用粗细砂纸逐次研磨，经2．5岬粒度金刚石研磨膏抛 at％)合金靶。基材与靶材间距约为240lllln，本底真空度为6x10-3Pa。沉积前预热至100℃．后 通入Ar气，加．1000 V、占空比为40％的脉冲偏压对基体表面进行溅射清洗，然后沉积过渡层， sccm、150$ccnl、200seem、250sccm、300 保持其它的工艺参数不变，选择不同的氮流量(100 seem) sccm、) 来实现。沉积时其它工艺参数为：工作压强O．8Pa、脉冲偏压占空比30％、弧流50～60A、弧压 20～30V。 二、结果与讨论 2．1氮流量对fri州)N涂层的影响‘ 2．1．1氮流量对ffi，AI)N涂层形貌的影响 图l不同氮气流基下CriAl)N涂层的表面SEM形貌 seem