纳米结构在微纳传感器应用中的介电泳操控研究.pdfVIP

刘伟景等：纳米结构在微纳传感器应用中的介电泳操控研究 纳米结构在微纳传感器应用中的介电泳操控研究木 刘伟景，张健，万丽娟，蒋珂玮 (华东师范大学信息学院电子系，上海200062) 摘要： 要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感 匀，这些被极化的微粒就会受到一份净作用力，即介电 器等电学系统申，首先要解决的问题是材料的定位操作 泳力。根据电磁理论，球状微粒在非均匀电场中所受介 问题。介电泳技术是一种很有潜力的纳米操控技术。在 电泳力的大小可用下列公式表示 自行设计的几种电极的基础上，采用介电泳技术对微纳 (1) ‰=hy乞K(动V(‰2) 米材料进行操控，可以实现微纳米材料沿电场方向的排 其中y为微粒的体积，如。为电场的均方根，板∞) 布和电极间的跨接。初步测试了采用介电泳技术操控自 也eClausius—Mosottifactor的实部，且 行生长的纳米结构制作而成的湿度传感器的基本特性， 结果表明介电泳技术可以很好地实现纳米材料在传感 以奶三也f箍l ㈤ 器领域中的应用。 关键词： 介电泳；微纳传感器；定位操控；相对湿度； 式中的“·”表示复合介电常数值， 纳米氧化锌 ￡·三￡一f竺 (3) 中图分类号：TB34；TP212文献标识码：A 文章编号：1001．973l(2007)增刊一2243一04 对于球状微粒，髟(缈)∈(_o．5，+1．0) 当联∞)0时，微粒受到引力作用而趋于强电场区 l 引 言 域，我们称之为正介电泳，到达场强区域后由于引力的 纳米材料具有巨大的比表面积和界面，外部环境的 作用，微粒将不再离开；当题∞)O时，微粒受到斥力 很多变化均会引起表面或界面离子价态和电子输出的迅 作用而趋于弱电场区域，我们称之为负介电泳，到达场 速改变，具有很独特的光学、电学和化学特性，所以被 弱区域后由于介电泳力很小或为零，微粒也将不再移 认为是性能超群的敏感材料【l’5】。在采用纳米结构作为敏 动。因为尉∞)的值是由频率决定，所以通过改变电场 感元件构造电学传感器时，通常需要将作为传感材料的 频率，在同一系统中可以实现正和负介电泳。虽然(1) 纳米结构排布或跨接在两电极之间【lz61，以便利用其特 式只适用于球状粒子，但我们知道，扁长形的微粒更容 性随测量对象的变化以电信号的形式传出。所以有选择 易沿长轴方向发生极化，更适于介电泳操控，如DNA、 地将纳米材料安放到指定的位置，是纳米材料应用中首 纳米管和纳米线等‘5，61。所以在很多实验中，人们都选 先要解决的问题。与之前人们采用的表面涂布、定向生 择条形材料作为操控对象。 长等方法相比，介电泳法被认为是目前实现大量或单个 3实验 纳米材料定位操作较为简单而有效的方法。介电泳技术 是一种基于Ma】【weⅡ经典电磁场理论的操控技术【1_111。 如前所述，在正(负)介电泳力作用下，微粒将被吸 利用预先设置的电极结构，来产生可控的电场，可以实 引到高(低)电场区，亦即一般电极尖角的边缘(或两 现对材料的定向操控【3．4】。这种操控不受材料本身导电 电极间隔)。所以要实现传感材料在两电极间的排列和 特性、材料形状等限制，具有较强的选择性和可控性， 跨接，只要施加适当频率的偏压，使系统处于