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微细阵列电极的电火花线切割加工研究 1 2 2 2 韩福柱 马莹 周晓光 祝明德 1. 清华大学精密仪器与机械学系 北京 100084 2. 北京邮电大学自动化学院 北京 100876 摘要：微细阵列电极在现代科技当中有着广泛而重要的用途。本文介绍了微细阵列电极的应用情况以及电火花线 切割加工的特点；然后以黄铜为材料，采用电火花线切割加工方法进行了微细阵列电极的加工实验，总结出了不 同加工因素对加工结果的影响规律。 关键词：微细阵列电极 电火花线切割加工 加工能量 中图分类号：TG661 0 前言 [1] 微细阵列电极是指单电极直径在 100μm 以下、排列规则的若干电极的集合 。微细阵列电极主要用在 生命科学和微细群孔加工两个领域，特别是在生命科学领域，其应用极其广泛[2] 。在医学方面，微电极阵 列(MEA)系统适用于培养多种组织系统，包括分离的神经细胞、视网膜、心肌细胞、肝细胞、有机培养物 和急性分离脑片等。在 MEA 培养皿上，可以同时记录和刺激多个位点，这大大地扩展了研究的视野，同 [3] 时又保持了对单细胞的准确记录。MEA 在基础生物学和医疗诊断等研究中广泛得到越来越重要的应用 。 MIT 的 Timothy A. Fofonoff 等人利用微细群电极对老鼠大脑皮层的神经细胞抑制和兴奋的活动情况进行 [4] [5] 了研究，收到了很好的效果 。同时微细阵列电极在微小孔加工中得到广泛应用 ，但传统的单电极加工 限制了生产效率的提高，所以在大量制作群小孔中宜采用群电极。间隔均匀、制作精良的微细群电极，能 快速制作群孔，如用日本松下电器产业公司的 Ken’ichi Takahata 使用单电极直径 20μm 的20×20 微细群电 极，在松下 MG2ED72W 微细电火花加工机床上制作穿透的群孔，加工材料为 50μm 厚的不锈钢片，需时 约 5min，效率大约是单电极加工的 20～30 倍[6] 。但是群电极打孔的放电间隙比单电极打孔要大。单电极 高速旋转打孔时的放电间隙为 2～3μm ，而群电极打孔由于不能旋转导致排屑困难，其放电间隙在 5～6μm 之间，所以单电极直径为 20μm 的 20×20 微细群电极加工出来的群孔直径在 30～32μm 之间 [6] 。正是由于 微细阵列电极用途如此广泛，产生了众多加工微细阵列电极的加工方法。 (1) LIGA 方法：LIGA 方法运用光刻、电镀和成形 3 个过程来制作微结构，适合制作复杂结构。LIGA 技术在制作数量多，长径比大的微细群电极方面具有优势。但是使用 LIGA 技术加工时，必须采用同步辐 射 X 射线光源，价格昂贵，且加工时间长，工艺过程复杂。 [4] ：电火花加工的反拷原理提供了一个制作微细群电极的新思路。该工 (2) 电火花超声复合反拷加工法 艺方法可利用现有微细电火花加工设备，简单有效。首先，用块电极磨削法制作微细但电极；其次，用单 电极在平板电极上大阵列孔，最后用平板电极上的阵列孔反烤制做群电极。此种方法虽然简单有效，价格 低廉，但是加工时间长，效率低，制作的电极长径比不大。 (3) 微细电火花线切割加工法：微细线切割加工是微细电火花加工的一种，它利用工件和电极丝之间 的脉冲性火花放电，产生瞬间高温使工件材料局部熔化和汽化，达到加工目的[7] 。与机械加工相比，其优 势在于加工中没有宏观作用力，且可加工高硬度的导电材料，加工精度很高，可以达到微米级表面质量。 微细线切割加工法制作微细群电极，能加工大多数导电材料，包括钛-铝-钒合金、不锈钢、碳钨合金，甚 至是掺杂硅。微细线切割加工法适合加工加工数目众多的微细群电