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四川省电子学会传感器技术专委会第十届学术年会会议论文 新I艺与新材料
稀土双酞菁LB膜的制备及气敏性的研究
官德斌杨亚杰康彬刘学涌蒋亚东
(中国工程物理研究院化工材料研究所)
【摘要l本文制备了一种新型的有机气敏材料—取代稀土双酞菁,该材料具有优良的溶解性能和成膜性能,无
pm间距的超微电极上制各了18层LB单分子超薄膜,AFM观测证实其表面形貌均匀致密。在气敏响应测试中,
该材料在低温环境(10℃)下有灵敏的电子学响应,响应时间小于10s,信号变化高达4个数量级,在8512微
热条件下能彻底脱附气体分子。该气敏材料不仅已经具备实际应用价值,并且在响应温度条件和响应阈值方面有
良好表现.
【关键词】Sub.Re(Pc)*2超微电极LB薄膜气敏响应
引言
气体传感器越来越广泛地被用于矿山安全、空气质量以及公共安全监控。传统的厚膜气体传感
学气体传感器是以电解池的氧化还原反应为原理,能在较低的室温下工作,但结构复杂且价格昂贵,
并且由于内部损耗而导致其寿命较短12J。 。
有机导电聚合物的发现使气体传感器的微型化成为可能【3】。研究发现,许多具有光电功能的有
机材料对氧化性或还原性气体有一定的敏感性,如聚吡咯、聚苯胺以及卟啉和酞菁。其原理是气体
分子可逆地与敏感材料发生吸附作用和电子转移,并导致薄膜的电导率发生变化。与无机气敏材料
相比,有机聚电材料具有响应灵敏、可逆性好和易于加工的特点,从而成为薄膜器件的热门材料。
其中,酞菁类材料近年来因其特殊的大环共轭结构倍受关注。文献报趔41,铜酞菁和铅酞菁对N02
和NH3均有不同程度的气敏响应,但响应温度仍然偏高,一般为170℃左右,且吸附和脱附过程较
为缓慢。
本文以镧系稀土金属元素为配位核心合成夹心结构的双酞菁分子衍生物,在超微电极上拉制了
LB膜,并在自制的气体混合装置上进行了气敏性测试。
l气敏材料和超微电极制备
1.1稀土双酞菁衍生物的制备
常用的金属酞菁合成方法有四种:邻苯二腈一元素路线、苯酐一尿素路线、邻氰基苯甲酰胺路
线、l,3.二亚氨基异吲哚路线pl。其中,邻苯二腈一元素法条件温和,合成过程毒性相对较小,适合
于稀土金属类的双酞菁合成。为改善溶解性和成膜性能,取代基选择了带支链的烷氧基。
本文在氮气保护下以异戊氧基取代4.硝基邻苯二腈的硝基,得到中间产物4.异戊氧基邻苯二腈。
后者与稀土醋酸盐(镧)在氮气保护下通过缩聚反应形成双酞菁超分子共轭结构,同时通过配位键
将二价的稀土元素络合于超分子的中心位置。对称引入四个8.异戊氧基的双酞菁镧衍生物在理论上
具有比金属单酞菁(CuPc)更良好的溶解性能、可加工性能和半导体性能16J。
稀土双酞菁粗产物经精磨后,用氯仿溶解,柱色谱分离后得到纯度较高的终产物。红外谱表明
在725.66cmo有取代官能团异戊氧基的特征吸收峰;1247.31cm以是芳醚的特征吸收峰:1600.56cml、
1490.08cm~、1097.25 cm-1、
cm‘1出现了强烈的吸收峰,是典型的酞菁共轭大环的特征信掣71;2232.11
649nm和699nm各有一处强吸收带,即B带和Q带,符合酞菁结构的紫外谱特征【7】【8】。
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四川省电子学会传感器技术专委会第十届学术年会会议论文 新I艺与新材科
1.2超微电极的结构设计
本文以超微电极为检测器件。超微电极是在硼硅玻璃基片上沉积Au/Cr后用光刻蚀技术形成叉
u
指电极图案。金叉指超微电极的间距设计为10m,电极脚距按标准接插件要求设计为24mm;微
um~0.8la
电极有效面积为0.24cm2,厚度0.96mm,金属层厚度0.6rn。加工完成后用电表检测其导
通性,不导通的电极为合格品。
2薄膜制备及成膜性能研究
2.1LB薄膜制备
LB膜是具有双亲性的有机大分子利用相界表面张力在亚相上形成的高度有序的单分子致密
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