NASICON固体电解质气体传感器的研究进展.pdfVIP

2009矩 仪 表 技 术 与 传 感 器 增刊 Instrument Technique and Sensor NASICON固体 电解质气体传感器的研究进展 全宝富，梁喜双，钟铁钢 ，何月华，王 彪 (集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，吉林长春 130012) 摘要：采用高温固相法、溶胶一凝胶法制备 了NASICON固体 电解质材料，并利用XRD、IR、Raman、SEM等现代 分析手段对NASICON材料进行了分析表征，优选出NASICON材料制备的工艺条件。对制备不同检测气体所需的敏感电 极材料组份及制备方法进行了比较系统的研究。并以NASICON为离子导电层，以BaCO3一Li2CO3、Na2SO4一Li2SO 等复 合盐以及单一或复合金属氧化物为敏感电极材料，制作出了具有 良好性能的CO 、CO、SO2、NO2、H2S、C12、NH3等分 立器件和集成一体化的CO—CH (甲苯)、NH 一C，H 两种双功能器件。 关键词：NASICON；固体 电解质；气体传感器 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号 ：1002—1841(2009)增 一0140—03 ResearchProgressonNASICON SolidElectrolyteGasSensors QUANBao—fu，LIANGXi—shuang，ZHONGTie—gang，HEYue—hua，WANGBiao (StateKeyLaboratoryonIntegratedOptoelectronics，CoDegeofElectronicScienceandEngineering， JilinUniversity，Changchun130012，china) Abstract：NASICON solide]ectrolytematerialsweresynthesizedbysolid—statereaction，sol—gelmethodandwereanalyzedby XRD，IR，Raman，SEM．Alsotheoptimalprocessconditionswereselected．Thecomponentandpreparationmethodofthesensing materialswhichweresensitivetodifferentgasesweresystemicstudied．Discretedevices(CO2，CO，SO2，NO2，H2S，C12，NH3) andtwodiflmction,d：devices(CO—C7H8(toluene)，NH3一C7H8)withwellsensingehraaeterictieswereprepraedwithNASICON astheionicconductivelayer，compoundsalts(BaCO3一Li2CO3，Na2SO4一Li2S04)andsingleorcompoundmetaloxidesasthe sensingmaterials． Keywords：NASICON；solidelectrolyte；gassensor 0 引言 机盐溶胶，并制得ZrO一SiO一A12O，混合超细粉料。此后，用金 由燃烧、冶炼、化工生产、家居装修、汽车尾气排放的大 属无机盐制备溶胶一凝胶得到进一步发展。 量CO、CO、SO NO、HS、甲苯等毒害气体已严重破坏了 溶胶一凝胶法 (Sol—Ge1)已成为制备纳米材料的重要手 人们的生存环境。对大气中这些毒害气体含量的检测与控制对 段。此法可使多组分原料之问的混合达到分子级水平的均匀 保护环境，提高农作物产