传感器芯片系统研究与应用.pdfVIP

2009正 仪 表 技 术 与 传 感 器 2009 增刊 Instrument Technique and Sensor supplement 传感器芯片系统研究与应用 夏善红，边 超，孙楫舟，陈贤祥，彭春荣，董汉鹏，陈庆永，佟建华，郑凤杰，张 虹 (中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室北方基地，北京 100190) 摘要：基于微纳制造、微电子等技术的传感器芯片系统具有体积小、质量轻、功耗低、易于批量化生产、成本低、 易于集成化等优点，是传感技术领域的一个重要研究方向。近年来相关的研究主要包括微纳传感器芯片、微传感器阵 列、多传感器集成芯片系统、传感器与电路集成芯片系统、微流控芯片系统、无线网络传感器节点芯片系统等。文中分 别以糖化血红蛋白免疫传感器、催化燃烧气体传感器和电场传感器为例，简要介绍若干典型的生物量、化学量和物理量 微传感器系统及其应用。 关键词 ：微型；传感器；芯片系统 中图分类号：