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虚拟晶圆制造双臂 自动组合装置 的实现——李 飞 伍乃骐 虚拟晶圆制造双臂 自动组合装置的实现 李 飞 伍乃骐 广东工业大学，广州 ，510006 摘要 ：以eM—Plant系统仿真软件为工具 ，构建 出一个虚拟的双臂 自动组合装置 。该装置 克服 了 传统解析法的缺点，通过仿真模型来描述与分析半导体加工装置的调度 问题 ，是研 究人 员研 究 自动组合 装置控制 问题的有效手段 ，也是半导体制造工程师验证生产调度的可行性的仿真平台。 关键词：晶圆制造 ；自动组合设备 ；仿真；eM—Plant 中图分类号：TP206 文章编号 ：1004--132X(2009)23—2871一O5 A VirtualDual—arm ClusterToolin WaferFabrication LiFei W UNaiqi GuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou，510006 Abstract：A virtualdual—