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利用飞行时间质谱研究阴极蒸发 刘燕文，田宏，韩勇，赵青兰，徐振英，孟鸣凤，张哓伟，王晓艳，张洪来、 (中国科学院电子学研究所 100080) ToFMS 摘要：提出了采用飞行时间质谱(ToFMS)分析阴极蒸发的成分和速率的新方法。利．I=lj 测试了真空本底，氧化物阴极，浸渍阴极、覆膜阴极等各种阴极蒸发物的成分。研究了阴极蒸发 速率与阴极温度和加热时间的关系。比较了不同阴极蒸发速率的人小。研究了阴极各种成分离子 峰强度与电离电压的关系。 关键词：阴极蒸发 b行时间质谱蒸发速率离子峰强度 随着现代军事技术的快速发展，对军用大功率真空微波器件的性能提出了更高的 要求。担当电子发射的阴极作为微波器件的核心部分，其性能的好坏将直接影响微波 器件的可靠性和寿命等重要指标，阴极的蒸发是阴极的一个重要指标，它直接关系到 微波管的稳定性能和寿命，因此，研究阴极蒸发特性具有非常重要的意义。 以前研究阴极蒸发的方法主要有两种：一种方法是贝克尔法ll—J，这种方法就是 在正对阴极面上放置一个钨带，阴极蒸发的钡原子蒸发到钨带上时，钨带会有热电子 发射，当吸附在钨带上的钡原子达到单原子层时，钨带的发射电流达到最大。计算出 单位面积上单层钡原子的质量，测量出钨带热电子发射电流从零到最大的时间，即可 测量出阴极的蒸发速率，这种方法比较简单方便，不足之处是钡原子不可能按设想的 那样进行外延式生长，它取决于钨带的表面状况和钨带的温度以及沉积速率。且不同 温度下钡原子具有不同的动能，因此钡原子吸附在钨带上的温度以及沉积速率也是不 同的。另外，阴极蒸发的物质不仅仅有钡，还有氧化钡和其它材料，因此，这种方法 误差是非常大的。 另一种方法是石英晶体振荡法”J，它是利用石英晶体的压电效应把石英晶体的机 械能和电路性质联系起来。由于石英晶体的密度和弹性常数是很均匀的，因此以一定 方向切割的石英晶体片，总是具有相同频率常数，晶体片的厚度一旦确定，则谐振频 率也确定了，此谐振频率会被蒸发到晶体片上的蒸发物所改变，即落在石英片上的蒸 发物造成的机械负载引起了谐振频率的变化，把谐振频率的变化检测出来，经过计算 即可得到阴极蒸发率。这种方法是假设阴极蒸发出来的物质全部落到石英片上并吸附 在石英片上，但这是不可能的。另外这种方法是一种积累效应，一般需要几小时甚至 更长时『白J，它不可能做到适时检测。而且这种方法受到温度的影响比较大【41。 以上两种方法都不能区分蒸发物的成分，除了以上两种方法外，还有化学分析法 p山J，减速场法17 J，放射性同位素法[81，光学的比较法【9】，俄歇分析法等【IO】。 本研究中，将采用飞行时间质谱法研究阴极的蒸发。 1 实验装置 其．I：作原理如图I所示。 26l nlsM R叠．1．Tirae-of-Ilightspeclaometer． 图l飞行时间质谱仪jf：作原理 在离子源中产生的正离子，通过接有负脉冲电压的栅极Gl引出，然后经由接有 负高压的电极G2加速，进入漂移区域，经过漂移路程C后，离子到达探测器，即按 漂移时间进行选择，使给定的m／e的离子通过，而由接收器接收。质量为M的离子 飞行时间Tm与其质荷比M／的关系为 TM=K(M／e)1忍 (1) 这样测量离子的飞行时间就可求出离子的质荷比，从而进行样品成分分析。根据 相同时间内到达探测器的离子数就可计算出该种成分在样品中的含量。 阴极蒸发速率V与离子峰强度I的关系为…J y=AI (2) 式中A为常数。因此通过测量离子峰强度就可求出阴极蒸发速率。 这种方法的优点是能够分析阴极蒸发物的成分，仪器的分析部分只是一支漂移 管，机械结构简单；仪器的性能指标主要依靠调节电参数而获得，机械调整方面不多， 因此使用方便；能实现快速扫描，可用于监控极短的瞬时事件：在短时间内纪录任意