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201
1年北京真空学会真空学术交流会论文集
磁悬浮分子泵转子章动峰振动控制研究
武涵1 张剀2 邹蒙1 李奇志1 朱国精“
1、北京中科科仪技术发展有限责任公司，北京100190
2、清华大学工程物理系，北京，100084
摘要：本文提出了一种磁悬浮分子泵转予章动峰振动控制方法，该方法可以在磁悬浮分子泵整个工作
频段内对转子的章动峰进行自适应控制。本方法中磁悬浮分子泵控制器根据转予振动频谱判断转子章动峰
的幅值是否超过预设的稳定工作阈值。如果超过则采用章动峰抑制方法来抑制章动峰，从而实现了磁悬浮
分子泵整个工作频段内转子章动峰的自适应控制。如果振动超过安全工作阈值，则关闭分子泵电机，保证
系统安全。实验证明该方法对磁悬浮分子泵转予章动峰抑制效果良好，可以保证磁悬浮分子泵稳定运行。
关键词磁悬浮分子泵章动峰控制 自适应控制
Rotor of
NutationVibrationControl
MagneticSuspension
TurboMolecular
Pump
WU
Hanl，ZhangKai2，ZouMen91，LiQizhil，ZhuGuojin91
100190，
(1．KYKYTechnologyDevelopmentLTD．，Beijing
of
2．DepartmentEngineeringPhysics，TsinghuaUniversity,Beijing，100084)
Abstract：Arotornumtionvibrationcontrolmethodof turbomolecularis
magneticsuspension pump
isa control torotorvibration rotornutation
designed．Thisself-adaptivemethod．According spectrum，whether
vibration is thanstable thresholdcanbedecided controller．Ifthe
amplitudebigger working bymagneticbeating
rotornutationvibration is thanstable nutationvibrationcontrolleris
threshold，rotor
amplitudebigger working
started．Itis forrotorvibrationinhibition．Iftherotornutationvibration is thansafe
working amplitudebigger
ofturbomolecularwillbeshutdowninorderto
workingthreshold，motor pump keepsystem
resultsshowedthatrotornutationvibration
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