多晶硅太阳电池表面酸腐蚀织构化工艺的研究.pdfVIP

．58． 第十届中国太阳能光伏会议论文集 多晶硅太阳电池表面酸腐蚀织构化工艺的 研究 赵汝强，沈辉木，梁宗存，李军勇，曾广博 (中山大学太阳能系统研究所，广东省，广州，510006) 摘 要 本文介绍了利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的研究结果，主要采用酸腐蚀制绒，并利用SEM和Hitachi U．4100分光光度计分析了化学腐蚀后多晶硅片表面形貌和陷光效果。随着反应时间的增加．表面形貌是从微 裂纹状到气泡状，反射率是一个先降后升的过程，其中微裂纹状织构的反射率比气泡状的低。通过优化各种 参数，获得了腐蚀速度平缓，表面形貌介于微裂纹与气泡状之间，能与目前太阳电池后续工艺相适应的多晶 硅绒面。 关键词 各向同性腐蚀；多晶硅；酸性腐蚀 ‘●‘·_- 1月U 昌 步上升。但是多晶硅太阳电池的效率比单晶硅电池低，主要原因是晶界的存在同时缺乏高性价比的表面织构方 法。各向异性腐蚀法现在已经普遍应用于lll晶向的单晶硅太阳电池的制备，但是各向异性腐蚀法却不能有 效降低多晶硅的反射率。因此，多晶硅表面的绒面制备技术一直是当前国内外的一个研究热点。目前，已经出 现的多晶硅绒面技术主要有机械刻槽口J、激光ljJ、等离子蚀刻14】和各向同性的酸腐蚀【5】。机械刻槽的绒面对硅 片的厚度要求很高，在目前硅片厚度不断减少的趋势下很难实现。激光制备出绒面的陷光效果非常好的，但是 它需要相对复杂的处理工序。等离子刻蚀因成本高、耗时长、产量低，目前尚未得到广泛应用，日本京瓷公司 首先将此技术应用于多晶硅太阳电池生产，并取得较好效果，组件效率达15％【6】。但是该技术需要非常昂贵的 加工系统而且相关的设备技术报道极少。相对而言，酸腐蚀绒面技术以其工艺简单，廉价优质并且可以比较容 易地整合到当前的太阳电池处理工序中，是目前广泛应用的多晶硅太阳电池绒面技术。 本文以大量实验为基础，试图对多晶硅表面制绒技术进行优化，研究溶液成分、配比、腐蚀时间等因素对 太阳电池绒面的影响，总结出适合于工业化生产、经济有效的多晶硅绒面制备技术。 2实验原理和方案 本实验采用酸腐蚀法对多晶硅片进行腐蚀形成多晶硅绒面。试验所用的硅片为LDK公司生产的硼掺杂P H20，以适当比例混合而成。其中硝酸是强氧化剂，在反应中提供反应所需要的空穴，氢氟酸是络合剂，与反 应的中间产物Si02反应生成络合物H2 生成少量的FIN02，它能促进反应的发生，因此这是一种自催化反应。实际反应十分复杂，整个反应的化学方程 式可以用下式表示为： 晶体硅太阳电池及材料．59． si+H_N03+6HF_H2siF6+HN02+H20+H2t 由于腐蚀受表面清洁程度的影响，腐蚀前进行适当清洗。腐蚀是在聚四氟乙烯塑料杯内进行的，条件为室 温。反应结束后，硅片立即用去离子水冲洗，而后在碱液中清洗半分钟，再用去离子水冲洗，最后在氮气保护 气氛中烘干。 硅片的反射率利用Hitachi 反射率就可以了。表面形貌则通过Hitachis一520扫描电子显微镜观察。 3实验结果和讨论 3．1腐蚀速率 效果，但是腐蚀速率仍然高达10恤m／min左右，而且反应极不稳定，无法满足生产要求。因此，需募考虑加 入一定的稀释剂来进一步降低反应速度。 —c—c-，I上J11一g_|J 恐{己¨仆¨坦伯8 6 4 oc—c20 2 o