光生酸剂产酸效率评价方法的研究 (1).pdfVIP

168 以科学发展观促进科技创新(下) =—————————————————；——————_———；——————；———#———一 Algorithm 作者简介 王建英，新疆大学研究生，主要研究方向：光网络路由与波长分配算法。电话：099l一 8202352：E—mail：eye791225@163．corn。 光生酸剂产酸效率评价方法的研究 王 健 张伟民 王文广 蒲嘉陵 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室，北京，102600 摘 要 本研究利用罗丹明B在酸作用下异构变色的特性，采用分光光度法系统地考察 了罗丹明B对在不同酸种、酸浓度以及溶弃1体系的变色特性，并对光生酸剂在有机溶剂中的 产酸效率及其评价方法进行了系统的研究，考察了溶剂、光生酸剂浓度以及曝光条件对光生酸 荆的分解和产酸量子产率的影响。研究结果表明，本研究采用的方法在实验范围内能够很好 地对光生酸剂的产酸量和产酸量子效率进行定量的评价，光生酸剂的分解和产酸效率对其所 处的环境(不同的溶剂)表现出很强的依赖性，且光生酸荆的分解产率与产酸率相等，但与其在 溶液中的浓度基本没有关系。 关键词 量子产率 光生酸剂 分光光度法产酸效率 光生酸剂作为成像介质广泛应用子光刻胶成像体系，其成像过程利用光生酸剂光解生产的酸对特 定高分子树脂的催化作用，导致曝光区域发生酸解化学变化，与未曝光区域形成溶解、亲和性能的差异， 在显影处理后形成影像。如果在体系中加入酸增殖剂，还可以得到更大的产酸效率(超过100％)，从而 获得高感光度的成像材料体系。正是由于光生酸体系的光致抗蚀剂具有很好的化学增幅效应，在微电 子工业、微刻技术以及规模集成电路制造等领域得到广泛应用。 光产酸源的性质对于光生酸体系的成像性能有着重要的影响，因此如何定量评价光生酸剂的产酸 效率成为光生酸剂以及相关材料体系开发研究的关键。本研究利用罗丹明B在酸存在条件下的异构 变色的特点，采用分光光度测量的方法，构筑了一种光生酸剂在溶液中产酸的量子产率的评价方法，并 通过改变不同的条件来确定光生酸剂的最佳产酸条件，另外还考察了不同条件对光生酸剂产酸效率的 影响。 一、光生酸剂产酸效率方法的确定 1．标准工作曲线的确定 以罗丹明B作为酸敏染料，按照一定的浓度溶船于适当的溶剂中(如，乙腈溶剂)，然后加入浓度经 过标定的酸液(如，三氟甲磺酸)与其反应，通过紫外一可见光分光光度计测定反应后的罗丹明B特征 峰吸光度的变化，绘制以酸的浓度为横坐标，以吸光度的变化为纵坐标的酸浓度～ABS曲线，即所谓的 标准工作曲线。 2．光生酸剂光分解效率的评价 将光生酸剂(PAG)溶解在乙腈和四氢呋喃中，配制成溶液，将配制好的溶液在高压汞灯下曝光，曝 第8分会场 光固化与数字成像技术及其应用 J69 光时间为横坐标，作出PAG的光分解动力曲线。 根据曝光动力曲线，可以定量求出PAG的光分解产率，计算公式可由公式(1)表示： 垂=鸽豁豁 ㈩ 其中_ x 反应物分子消失数目=ACV×N． (2) 式中：AC为PAG的摩尔浓度变化；V为曝光容器的体积；N．为阿伏加德罗常数。根据比尔一兰伯特 (Lambert—Beer)定律： x △ABS=￡X L AC (3) 式中：△A为吸光度的变化值；￡为摩尔消光系数；L为PAG溶液的光路长。 吸收光子数=J×(1一e“BS)×S×tlhu (4) 式中