纳米级超精细物理沉积镀膜工艺机理分析-模板.docVIP

纳米级超精细薄膜物理沉积工艺机理研究 宋太伟，高伟波，余冬冬，方祥，杨光*1.5Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.;Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.;Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.;Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.;Shanghai Janye Sci Tech Co., Ltd.上海建冶环保科技股份有限公司;上海建冶环保科技股份有限公司;上海建冶环保科技股份有限公司;上海建冶环保科技股份有限公司;上海建冶环保科技股份有限公司201300;;;;;;021;;;上海市浦东新区园迪路158号;;;;caisheng99@;yudongdong0911@126.com;fangxiang2015@126.com;ygsunshine2006@163.com宋太伟（1965-），男，高级工程师，主要研究方向：太阳能电池材料和器件。;;;;宋太伟;高伟波;余冬冬;方祥;杨光SONG Taiwei;GAO Weibo;YU Dongdong;FANG Xiang;YANG Guang宋太伟 1*|*专著*|*宋太伟. 真空电子束热蒸镀系统与辅助电磁场磁控溅射沉积系统设计[M]. 上