湿度传感器的分类及研究.pdfVIP

湿度传感器的分类及研究 697 湿度传感器的分类及研究4 王阳 陈军宁 柯导明 孟坚 安徽大学电子系， 安徽合肥230039 摘 要 随着科技的发展，越来越多的方面需要应用到湿度传感器。若能利用CMOS工艺将 传感器部分、信号的处理电路等集成在同一块芯片上，从而进行大规模集成，就可以降低成本，减 小整个系统的尺寸，提高系统的可靠性。这里主要介绍了湿度传感器的分类，比较了电容型、电阻 型、离子敏型湿度传感器的感湿原理和结构特点。其中具体介绍了CMOS电容型湿度传感器的感湿 后，对CMOS湿度传感器的应用发展的前景进行了展望。 关键词 湿度传感器电容型电阻型离子敏型CMOS运放 口 传感器¨1是将备种非电量(包括物理量，化学量，生物量等)按一定规律转换成便于处理和传输的 另一种物理量(一般为电量)的装置。随着人类步入信息时代，传感器作为捕捉信息的器件也随之迅速 发展，在现代高度信息社会的科学技术发展中占据相当重要的地位。 湿度传感器是一类重要的传感器，在仓储、工业生产、过程控制、环境监测、家用电器、气象等方 面有着广泛的应用，如：精密电子元件制造、航天导弹、火箭的储存、粮食的防霉、高空气象探测、温 度种植等。冈此国内外研究十分活跃。 2湿度传感器的分类 湿度按照其测量原理，一般分为电容型、电阻型、离子敏型、光强型、声表面波型等，这里是以介 绍前三种为主。 2．1电容型 湿敏电容4一般是用高分子薄膜电容制成的，当环境湿度发 生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变 化，利用此特性即可测量湿度。常用的湿度传感器的感湿介质是 聚酰亚胺。 聚酰亚胺类的传感器可与CMOS工艺兼容，成本较低，并且 无需高温加工和加热清洁，它对湿度的感应具有本体效应，不易 图l 电容型湿度传感器的 俯视图和剖面图 ‘基金资助；安徽省自然科学基金项目(No． 量曼量—■_毫蔓目置■■—_置墨量量罾囊■__墨置量曼基舅■蔓皇鲁曼量E晕■■—■量量曼量鼍皇喜—__置曼曼奠奠置—墨_E釜；釜釜备釜釜备；：l!釜_；| 受污染。 若以聚酰亚胺作湿敏电容的介质，这种湿度传感器的电极是由在CMOS工艺F制成的两个铝层所构 成的。电容型湿度传感器如图l所示： 2．2 电阻型 湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜， 当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值都 发生变化。利用这一特性即可测量湿度。电阻型湿度传感器可分 为两类：a．电子导电型b．离子导电型。 电子导电型湿度传感器，通过将导电体粉末(金属、石墨 等)分散于膨胀性吸湿高分子中制成湿敏膜。随湿度变化，膜发 生膨胀或收缩，从而使导电粉末间距变化。电阻随之改变。但是 这类传感器长期稳定性差，且难以实现规模化生产，所以应用较 图2 电阻型湿度传感器的结构 少。离子导电型2湿度传感器，它是高分子湿敏膜吸湿后，在水 分子作用下。离子相互作用减弱，迁移率增加；同时吸附的水分 子电离使离子载体增多，膜电导随湿度增加而增加，由电导的变 化可测知环境湿度。这类传感器应用较多。其结构图2所示。 2．3 离子敏型 离子敏场效应管“7(ISFET)与普通的MOSFET相似，只 图3离子敏型湿度传感器的结构图 是将MOSFET栅极的多晶硅层移去，用湿敏材料所代替。当湿度 发生变化时，栅极的薅个金属电极之间的电势会发生变化，在栅 极上的湿敏材料的介电常数￡的变化，将会影响通过非导电物质的电荷流。如图3所示， 3 电容型湿度传感器的信号处理电路 由于聚酰亚胺作为感湿介质的电容型湿度传感器3可与C