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腔镜失调与面型误差对光束质量影响研究 作者：张增宝 指导教师：桑凤亭，金玉奇 中国科学院大连化学物理研究所701组 摘 要：通过光学模拟软件实现了氧碘化学激光器折叠虚共焦非稳腔的光腔建模，在此基础上进行了腔镜面形误差对光束质量影响的研究以及腔镜失调对光束波前影响的分析，并结合实测结果验证了该方法的可行性。 关键词：氧碘化学激光器(COIL)；光腔建模；光束质量；面形误差；腔镜失调 1.引言 自1978年诞生以来，氧碘化学激光器(COIL)以其短波长、高能、高效、大气与光纤传输性能好、及能源具有可机动性等优点而备受关注，在工业、军事及科研等领域显示着潜在的应用价值。随着激光应用领域的扩展，对于光束质量指标的要求也越来越高，实验研究表明对于高功率氧碘化学激光器，影响光束质量的因素主要包括：增益介质的非均匀性分布引起的介质折射率变化从而导致光束相位发生变化；光学组件加工的面形误差；光学系统的失调误差；出光过程中的机械振动及镜面热变形等引起的象差。如何提高氧碘化学激光器的光束质量是这一领域研究的重点和难点。 实验研究发现，影响光束质量的多种因素互相关联，单纯从实验结果很难深入分析各种因素的独立影响程度。而通过建模仿真研究，可以将问题简化，通过模型的分析可以找到某种因素对光束质量的影响关系，并给出提高光束质量的改进方法；另一方面，随着氧碘化学激光器的发展，输出功率的提高和激光器规模的加大，实验成本将急剧上升，为了降低成本，缩短研制周期，氧碘化学激光器的谐振腔光学建模研究也是十分必要的，国外在这方面的研究已经开展。因此结合国内高功率氧碘化学激光器的研究现状，开展谐振腔光学建模研究具有重要意义。 腔镜面形加工误差和腔镜失调是直接影响光腔系统性能的两个因素，因此研究腔镜面形误差影响和腔镜的失调对光束波前的影响，无论从提高光束质量还是改进调腔方法上都是十分有益的，而以往的实验研究，因其它因素的关联影响而不能深入，谐振腔光学建模研究的开展为其提供了新的研究途径。 本文主要介绍了利用光学建模软件ZEMAX实现模拟激光光束质量及输出光束波阵面的光学谐振腔模型，并且实现了腔镜测量数据与建模数据的完全一致。在此基础上进行了腔镜面形加工误差对光束质量的影响研究，以及腔镜失调对光束波前影响的分析。利用软件分析了光腔模型的衍射能量分布以及由此得到的光束质量的数据，利用软件的Physical Optical Propagation模块实现了远场的光强分布模拟。给出了全部腔镜针对于倾斜失调的腔镜失调曲线，并对曲线作出了解释分析，对比了不同腔镜的失调灵敏度。最后在空腔的情况下利用调腔He-Ne激光进行了光束质量的测量实验，通过实验结果对光腔模型分析得到的结论进行了验证。 2.谐振腔光学建模 氧碘化学激光器的谐振腔采用折叠虚共焦非稳腔，凸面反射镜、凹面反射镜和刮刀镜放置在氧碘混合喷管一侧的光腔盒内，两块45°平面反射镜放置在喷管另一侧的光腔盒内。利用ZEMAX软件建模的光腔结构如图1。本文主要针对光学面形的加工误差进行分析，因此忽略衍射效应，采用顺序追迹光线的几何光学方法，以平行光垂直照射到凸面反射镜，被其反射，依次经过两块45°反射镜、凹面反射镜、再次经过两块45°反射镜、最后经刮刀镜反射输出。 Fig.1 Schematic of COIL resonator 图1 软件模拟的COIL光腔结构 空腔情况下的光束质量的下降主要是由于腔镜的面形加工误差、装调误差等因素导致的各种像差影响产生的。其中腔镜的加工面形误差由于加工水平的限制是难以避免的，特别是大曲率半径的反射镜的加工与检测技术都还没有成熟，因此利用光学建模评价加工面形误差对光束质量的影响是十分必要的。要得到真实的建模结果，必须提供腔镜面形精确的测量结果，实验中通过ZYGO干涉仪对腔镜进行了精确测量，不但获得腔镜加工水平的参数，如加工面形的PV值和RMS值，而且通过干涉仪的软件分析还获得了面形归一化的Zernike多项式系数。图2是实验中一块45°反射镜的干涉测量结果。表1给出了归一化的45°反射镜面形的36阶Zernike多项式系数。 Fig.2 Surface-shape precision of a 45° reflective mirror measured by a ZYGO interferometer 图2 45°平面反射镜面形精度的ZYGO干涉仪检测结果 Tab.1 36-order Zernike polynomial coefficients for the surface-shape of a reflective mirror 表1 反射镜面形的36阶Zernike系多项式系数 测量得到的面形Zernike多项式系数代表了反射镜的实际面形，ZEMAX软件提供了多种面形特性，利用其中的Z