薄膜声体波谐振器电磁场建模与仿真.pdfVIP

第! 卷第# 期 浙 江 大 学 学 报（工学版） =(- ! ?( # $% 年# 月 ’()*+,- (. /0123,+4 5+361*7389（:+43+11*3+4 ;31+1 ） ;1@ $% 薄膜声体波谐振器的电磁场建模与仿真 董树荣，金 浩，王德苗 （浙江大学 信息与电子工程学系，浙江 杭州HG$B ） 摘 要：为了模拟薄膜声体波谐振器（MNOP ）的电磁场（:Q ）分布特性，提出了一种新的MNOP 建模方法 该方法 从基本的一维弹性压电方程和三维麦克斯韦尔方程出发，结合电极与压电薄膜交界处机械应力与机械位移连续的 边界条件，推导出了MNOP 等效复介电常数的严格解 将电磁场和声场等效到一个复介电常数中，用等效复介电常 数的形式来包含电声效应 并基于有限元方法对MNOP 全波段进行了仿真 结果表明，该方法的仿真结果与实测数 据基本一致，具有很好的准确性 与传统的电路模型比较，由该方法得到的模型能够实现场的不连续仿真和MNOP 的电磁场分布与压电效应的实时仿真 关键词：声体波；射频谐振器；电磁场建模；介电常数 R?B G$ ；RQGA! 文献标识码：O 文章编号：GS #BHT（$% ）# G!BB A 中图分类号： !#$%’()*+#%,$ )+)-.,. ’/ %0,+ /,( 123 )$’2.%,$ #.’+)%’ UV?W ;0)J*(+4 ，’X? Y,( ，ZO?W U1JK3,( （!# $%’( )* +(* )%’$,)( -.,(. / 01.%)(,. 0(2,(%,(2 ，345 ,$(2 6(,7%8,9 ，:$(2;4) HG$B ，=4,($ ） 41.%)$% ：M(* 73K)-,83+4 801 1-18*(K,4+183 （:Q ）E378*3[)83(+ (. 803+ .3-K [)-\ ,()783 *17(+,8(*7 （MNOP ），, +1C MNOP K(E1--3+4 K180(E C,7 @*(@(71E R0*()40 *34(*()7-9 7(-63+4 801 (+1JE3K1+73(+,- 1-,783389 @31D(1-18*3 -3+1,* 1]),83(+7 ,+E 801 80*11JE3K1+73(+,- Q,^C1-- 1]),83(+7 ，801 (+83+)389 [()+E,*9 (+E383(+7 (. K10,+3,- E37@-,1K1+8 ,+E 8*,83(+ .(*17 ,8 801 3+81*.,17 [18C11+ @31D(1-18*3 803+ .3-K ,+E 1-18*(E17 C1*1 (+73E1*1E ， ,+E 801 1..18361 @1* (. MNOP C,7 E1E)1E 3+ ,+,-983 .(*K O.81* :Q ,+E ,()783 .31-E C1*1 8*,+7.(*K1E 3+8( ,+ 1..18361 @1*，801 @31D(1-18*3389 C,7 1K[(E31E 3+ 801 .(*K (. 801 1..18361 @1*，,+E 801 K180(E C,7 73K)-,81E 3+ .)--JC,61 MNOP [,71E (+ .3+381J1-1K1+8 K180(E R01 *17)-87 70(C 80,8 801 73K)-,83(+ E,8, (. 801 K180(E ,4*11 C1-- C380 80(71 (. 801 K1,7)*1K1+8 _(K@,*1E C380 8*,E383(+,- 3*)38 K(E1- ，801 K(E1- E1J 734+1E [9 801 K180(E ,+ 3K@-1K1+8 801 .31-E E37(+8