溶胶凝胶法制备ZnO薄膜成核生长和失稳分解的研究.pdfVIP

溶胶凝胶法制备ZnO 薄膜的成核生长和失稳分解研究 1 1 2 1 1 1 3 臧竞存 田战魁 刘燕行 迟静 邹玉林 魏建忠 叶建萍 . (1北京工业大学材料科学与工程学院, 2 北京工业大学环境与能源工程学院，北京100022， 3 中国科学院化学所光化学重点实验室，北京100080) E-mail ：zangjc@. 摘 要：采用溶胶-凝胶法在ZnWO 单晶上制备出透明的ZnO 薄膜。通过光学显微镜观察了ZnO 4 薄膜的表面形貌。实验结果表明：ZnO 薄膜的形成经历了表面成核，晶粒长大和岛的形成三 个不同的阶段。由于ZnO 晶核是在非平衡条件下生长的，在生长过程中不可避免地出现了枝 晶生长和分形生长以及失稳分解。 关键词：氧化锌薄膜，成核，枝晶生长，分形生长，失稳分解 1. 引 言 ZnO 是一种重要的功能材料和Ⅱ-Ⅵ 族直接宽带半导体材料，具有良好的机电耦合性 能。室温时禁带宽度为3.37eV，激子束缚能为 60meV 。由于这些优异的物理化学性质，使 其在光电导，压电，光波导，发光器件，激光器，透明导电薄膜，气敏传感等领域有广泛的 应用。特别是它可制作蓝光或紫外光发光二极管（LED ）和激光二极管（LD ），引起人们 极大的兴趣[1,2] 。ZnO 是一致熔融化合物，熔点为 1975℃。高温下ZnO 的挥发性很强，不能 采用提拉法生长工艺获得ZnO 单晶[3] 。近年来有文献报道，籽晶诱导成核的气相生长方法已 [4] [5] 经获得直径50mm 的ZnO 单晶 ，水热合成法和助熔剂法 也生长出厘米级晶体，但是商业化 生产ZnO 单晶还存在许多问题。由于ZnO 体单晶生长困难，价格昂贵，尺寸小，难于满足 各种应用的需要。因此,对各种ZnO 薄膜制备技术的研究和开发成为ZnO 材料及器件应用研 究的一个重要方向。到目前为止，人们已经采用多种方法制备出高质量的ZnO 薄膜，并对 ZnO 薄膜的结构，发光性能和表面形貌作了大量的报道，但对ZnO 薄膜的形貌及其形成过 程报道较少。本文采用溶胶-凝胶法，ZnWO4 单晶为衬底，观察和研究了ZnO 薄膜的成核生 长与失稳分解、枝晶与分形形态。 2．实验 本实验采用溶胶凝胶法（sol-gel）制备ZnO 薄膜。首先将摩尔浓度均为0.75mol/L 的 乙醇胺和乙酸锌Zn(AC) ·2H O 按1：1 配比，溶解于乙二醇独甲醚有机溶剂中, 然后将混 2 2 合液置于60℃水浴中，经过充分搅拌后，制成透明溶胶。ZnWO4 单晶经定向、切割和抛 *中国科学院化学所光化学开放实验室基金资助 - 1 - 光后作衬底，采用浸渍提拉法，即将衬底基片浸入溶胶，然后以20mm/min 的速度提拉出液 面，则在ZnWO4 (1 0 0) 晶面形成一层凝胶薄膜。将镀完一层后的晶片置于330℃的电炉中烘 烧10 分钟。再进行第二次镀膜，反复镀膜15 层。最后在600℃退火 60min，这样即可形成 氧化锌薄膜。 3．实验结果与分析 在晶体薄膜的生长过程中，衬底单晶材料对薄膜的生长有着十分重要的影响。我们曾在 Na-Ca-Si 玻璃基片上，制备出具有一定c 轴取向的均匀ZnO 薄膜[6] 。一般薄膜材料取向大 都与衬底晶体结构和取向有关，本实验采用钨酸锌ZnWO 单晶作衬底。ZnWO 单晶的a 晶面与 4 4 氧化锌c 晶面晶格匹配很好，是制备氧化锌薄膜的优良衬底。与其它衬底材料相比， ZnWO4 单晶最大特点是有一个天然Zn-O 层，ZnWO 晶体（1 0 0）的面更易于ZnO 晶体的生长。 4