潮湿环境下非氢类金刚石薄膜超自润滑性能的研究.pdfVIP

中国科学 E 辑 : 技术科学 2008 年 第 38 卷 第 11 期 : 1912 ~ 1920 《中国科学》杂志社 SCIENCE IN CHINA PRESS 潮湿环境下非氢类金刚石薄膜的 超自润滑性能研究 ①②* ②** ② ①② ② ① 王锋 , 吴卫东 , 李俊 , 李盛印 , 唐永建 , 孙卫国 ① 四川大学原子与分子物理研究所, 成都 610065; , 621900 ② 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 绵阳 * E-mail: wfbgc@ ** E-mail: wuweidongdingliu@ 收稿日期: 2007-12-22; 接受日期: 2008-04-21 中国工程物理研究院重大基金项目(批准号: 2005Z0805)资助 摘要 采用脉冲激光沉积(PLD)方法在不同衬底温度条件下制备了不 关键词 80% 5% PLD , 与 的条件下测试了类金刚 含氢的类金刚石薄膜 在相对湿度为 石薄膜的摩擦学特性. 由于PLD 方法的独特性, 薄膜具“软-硬”双层结 非氢类金刚石薄膜 构, 保证了薄膜在潮湿条件(RH=80%)下仍保持非常优异的摩擦性能, 摩 相对湿度 − 10 3 − 1 − 1 双层结构 擦系数与磨损率最低达0.045 与5.94×10 mm ·N ·m , 相对于干燥条 摩擦系数 件下测试结果来看, 几乎没有明显变化. 原子力显微镜与白光干涉仪测 磨损率 试结果表明, 薄膜的均方根粗糙度小于1 nm, 最小值为0.209 nm; XPS 表明薄膜sp3 最高含量达72%, 并且Raman 光谱结果表明室温下制备的 薄膜是非晶网络结构; 纳米压痕迹测试表明, 薄膜最高硬度与弹性模量 分别达51 GPa 与350 GPa, 且随衬底温度升高而降低; 样品表面的水接 触角均大于90°, 薄膜表面疏水并具有极低的表面能. 由于类金刚石薄膜(diamond-like carbon film, DLC)具有优良的物理化学性能(如自润滑、高 硬度与弹性模量、化学惰性等)[1~3], 在众多领域有着广泛的应用, 尤其是类金刚石薄膜在无油 环境中的固体自润滑性能以及超高的硬度, 使其在 MEMS 器件、航空航天、精密机械设备方 面有着更加巨大的应用前景. 近十年来的研究结果表明, 通常类金刚石薄膜可以通过三种方 法获得极低的摩擦系数(µ 0.05): 1) 在真空、干燥的空气或氮气气氛下测得( 相对湿度 RH5%)[4~10]; 2) 通过含氢的类金刚石薄膜测得[4,5,11,12]; 3) 采用微小的测试正压力(毫牛级) 、滑 动长度(微米级) 以及滑动速率(10 mm/s)[10,13,14]. 然而, 先前的研究结果同时表明, 类金刚石 薄膜的摩擦系数与磨损率强烈的依赖于制备方法与测试条件, 尤其是对测试环境的湿度非常 1912 中国科学 E 辑: 技术科学 2008 年