钛表面电弧离子镀沉积钯膜层研究.pdfVIP

第36卷 第12期 稀有金属材料与工程 、，01．36．No．12 2007年 12月 RAREMEl：AL^伽ERIAI，SANDENGINEER皿町G December2007 钛表面电弧离子镀沉积钯膜层的研究 鹏2，徐 重1 李争显1，一，张跃飞3，王宝云2，王少鹏2，严 (1．太原理工大学，山西太原030024) (2．西北有色金属研究院，陕西西安7lOOl6) (3．北京印刷学院，北京102600) 摘要：利用电子显微镜、x射线衍射仪、显微硬度试验机等分析手段，对采用焊接复合式靶材，在钛表面沉积出的 钯膜层进行分析研究。结果表明：钯膜层具有电弧离子镀典型特征，膜层的厚度为1．2～2¨m，膜层致密。提高膜层的 GPa，在膜层与基体之间由于生成了Ti4Pd相，硬度 沉积温度使膜层与基体之间生成Ti4Pd相。膜层的表面硬度约为2 增加至U2．8GPa。 关键词：钛表面；电弧离子镀；钯膜层；性能 中图法分类号：TGl46．2+3；TGl74．444文献标识码：A 纯钛具有良好的耐蚀性能，已在许多工业领域得 钯膜层进行了分析研究。 到广泛的应用。但在稀Hcl，H2S04以及高温氯化物 1 实 验 等介质中，存在均匀腐蚀以及缝隙腐蚀等现象。历史 上已经发生了多起严重的腐蚀事件，造成了巨大的经 1．1实验方法及设备 一 济损失。人们通过在纯钛中加入合金元素(如Pd， 实验样品材料选用厚度为2mm的TAl工业纯钛， Ta，Mo等)显著提高了钛材的耐蚀性能。M．Stern， 光、清洗后装入真空离子镀设备中。靶材选用钯含量 H．wissenberg研究表明，在纯钛中加入微量的Pd元 mm的高纯钯片，采用图l所 素可以提高纯钛在盐酸和硫酸中的耐蚀性能…。通过 为99．995％，厚度为3 mm的电弧离子 近50年的研究和开发，在TiPd系合金中，Ti一0．2Pd示的焊接式复合结构，制成直径为80 已成为典型的钛钯合金，广泛地用于石油、化工以及 镀靶。钯层的沉积在ASP一800型多功能离子镀设备上 特殊的工业部门。 进行。对制备的试样用日本电子公司的JSM一6460电 众所周知，钯是一种价格昂贵的贵金属，在 射线衍射仪测定膜层的相结构；用Akashi Ti．0．2Pd中虽然只有0．2％的Pd，但已使该合金的价 Co印oration M一400．Hl显微硬度试验机检测膜层的硬度。 格大幅度提高，限制了Ti一0．2Pd合金的应用。为了降 低成本，围绕降低Pd的用量开展了许多研究工作。 Kazuhiro．Taki研究了采用大气热处理的方法在钛表 面沉积Pd和Pd0涂层，耐蚀性能与Ti一0．15Td相当[21。 但它的缺点是膜易脱落。有学者采用离子注入工艺在 钛表面注入了Pd，在钛表面得到了Ti．Pd合金，但是， 由于注入层的厚度不足，提高的耐蚀性能有限。腐蚀 首先发生在表面，因此，在表面上制备一层致密、耐 图l 焊接式电弧离子镀钯靶结构