全固化213nm深紫外激光技术研究.pdfVIP

! ##$ 年% 月 重庆师范大学学报（自然科学版） ’() ##$ 第* 卷 第% 期 +,-(’. +/ 01+(234(2 5+-6’. 7(489-:4;（5’;,-’. =49(9 ） ?+.) * 5+) % 全固化%@ (6 深紫外激光技术研究! 苏艳丽，姜其畅 （山西运城学院物理与电子工程系，山西 运城#AA### ） 摘要：给出了产生%@ (6 深紫外激光的两种可行性方案。根据和频理论的相位匹配角公式、非线性有效系数公式、 走离角公式和允许角公式，详细计算了BBC、0DBC 晶体和频产生%@ (6 激光时的相位匹配角、非线性有效系数、和 频时谐波走离角、允许角的具体数值。根据这些数值，对两种和频方案进行了比较，分析得出：采用方案B ，以BBC 晶体作为和频晶体进行深紫外激光研究在理论上是可行的，为进一步的实验研究提供了一定的理论参考。 关键词：深紫外激光；和频理论 ； BBC ；0DBC 中图分类号：E5AF 文献标识码：G! ! ! 文章编号：%*HI **$@（##$ ）#%I ##FI #@ ! ! %# (6 波段的深紫外相干光源在半导体光刻、 性，为进一步的实验研究提供了一定的参考。 高密度光盘存储、精细材料加工、医疗、高精度光谱 % 实现%@ (6 深紫外激光输出的技术 分析和科学研究等领域有重要的应用。近几年随着 新型深紫外非线性光学晶体的不断出现及各种倍频 方案 技术的日趋成熟，全固态深紫外激光器已成为激光 ! ! 对5V ：K?CA 激光器的基频% #*A (6 光波进行 技术研究领域中的热点之一［%I@ ］。获得全固化深紫 J 倍频，得到%@ (6 深紫外激光输出的可行性技术 外激光最直接的方法是利用各种非线性光学晶体的 方案有两种。G 方案：利用基频光 %#*A (6 及其A 二阶非线性效应，对钕离子固体激光的近红外基波 倍频** (6 光束在和频晶体中进行和频（%#*A (6 进行频率转换，产生A 、J 次谐波。目前国外对于 W ** (6%@ (6 ）；B 方案：利用二倍频J@ (6 及 %@ (6 全固态深紫外激光器的研究有一些报道， @ 倍频@JJ (6 光束在和频晶体中进行和频（J@ (6 %$$* 年，日本东京大学的K) L) K’M 等人在获得重 W @JJ (6%@ (6 ）。 复频率%# NO 、脉冲能量为J## 6 、平均功率为J P 的** (6 的紫外激光的基础上，再将产生的** (6 文献［@ X J ］获得%@ (6 深紫外激光输出均采 和剩余的% #*A (6 在 % 66 Q % 66 Q * 66 的 用方案G ，并对此时的相关参数进行了计算；对方案 0DBC 晶体中和频，最终获得重复频率 %# NO 、脉冲 B 的有关参数还未见报道。但俄国的DCET= 公司推 能量为@ 6 、平均功率为 ) @ P 的%@ (6 的紫外 出了%@ (6 深紫外激光产品，对这两种方案都有提 激光［A ］。##A 年，,( =’R,6’ 、K,414 G:’R’S’ 和 及，所以有必要对方案B 的相关参数进行计算，分 E+6+14-+ T6’1+R+ 等人利用0DBC 晶体对DU 泵浦的 析其可行性。文章根据和频理论分别对这两种方案 5V ：K?CA 产生的%) #*A !6 激光进行J 倍频，实现 的相