纳米技术在测量科学中的研究现状与发展趋势.docVIP

纳米技术在测量科学中的研究现状与发展趋势第1章 纳米测量技术及仪器研究现状及发展趋势纳米（nm）是一种长度单位，是十亿分之一（10-9）米。纳米技术是研究在十亿分之一到千万分之一米内，原子、分子或成千个原子和分子“组合”在一起时，表现出既不同于单个原子、分子的性质，也不同于宏观物质的性质。随着科学的发展,为在纳米尺度上研究材料和器件的结构及性能，发现新现象，发展新方法，创造新技术，必须建立纳米尺度的检测与表征手段，即纳米测量。纳米测量是对在分子和原子尺度上的产品涉及的各种参数进行检测,如长度、力学量、电学量等等，并且描绘其微观形貌特征。1.1纳米测量技术纳米测量技术包括:纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量，它是对新型纳米材料及其新的物理效应的利用。随着科技的发展，纳米测量同时可以与国际互联网联通,通过互联网可进行远程操作，实时监测、校准和维修。目前，纳米测量技术的种类主要有以下几种：扫描探针显微技术、光外差干涉技术，X射线干涉显微技术和基于F-D标准器具的测微技术等等。但总的来说分为两大类: 光学方法和非光学方法。光学方法研究领域中主要包括: 频率跟踪方法（F-P干涉仪）、 共光路外差激光干涉仪法、Ｘ光干涉仪法、调频干涉仪、偏振干涉仪和光学光栅等方法。光外差干涉显微技术是传统的纳米测量方法,分辨率达到或超过纳米级。外差干涉仪，以两个频率的光波作为干涉仪的光源，频差在几兆到几千兆赫兹之间。两个频率的光波可以由双波长激光器得到,也可以利用声光、电光调制器等移动激光器的输出光频来实现。非光学方法主要以扫描探针显微镜SPM（scanning probemicroscope,简称SPM）法为主。其典型仪器是扫描隧道显微镜和原子力显微镜，扫描探针显微测量技术主要用于测量表面的微观形貌和尺寸。它的原理是通过检测一个非常微小的探针与样品表面的各种相互作用，对被测表面进行扫描, 从而确定该表面的三维微观立体形貌。1.2纳米测量系统分析以上纳米测量仪器可以看出,一套光学或非光学纳米测量系统一般由纳米传感部件、纳米测试系统、计算机信息处理、数据分析及结果显示等几部分组成。1.2.1传感部件传感部件是将测量中的各种变化转换成计算机可以识别、显示的信息。以扫描隧道显微镜为例，测量时，将探头顶部的探针针尖接近所要观测的样品表面，进行扫描。探针结构如图3 所示，两种工作方式：模式和非接触模接触式。最早的原子力显微镜AFM是通过接触模式探测样品表面的起伏，探针对样品的，作用力较大，且无法恰当控制，影响测试样品的分辨率，甚至会移动或破坏样品。而扫描隧道显微镜采用后者，扫描时探针在共振频率附近振动，每次 “敲击”样品一下，既消除了接触模式中针尖扫描移动时对样品的横向力，又降低了探针对样品的实际作用力和作用面积。1.2.2 扫描测试系统直接显现纳米微观结构、获得样品表面结构特征信息的扫描系统必须具有纳米级的分辨率，目前纳米扫描系统，在水平和垂直方向已经具备了纳米级的分辨率，但却缺少真正具有三维探测能力的扫描系统。 常用的纳米扫描系统有扫描探针显微镜、共焦显微镜和扫描电镜等等。SPM 在扫描过程中，针尖会随着样品表面的起伏而起伏，针尖沿x、y 方向扫描，从而可以对被测表面及近表面区域的物理特性在原子量级的水平上进行探测,如图1所示。图1 STM原理1.3.纳米测量技术现状1.3.1 发达国家在纳米测量领域内的发展水平及部署美国总统克林顿指出，纳米计划与开发的关键是要开发新的实验手段以提高测量和控制纳米结构物质的能力，包括开发新的测量标准。且投入大量资金,仅2001 年财政年度拨款就达到4。95亿美元；日本国家计量研究所(NRLM)研制了由稳频塞曼激光光源、四光束偏振迈克尔干涉仪和数据分析电子系统组成的新型干涉仪,该所已开始研究一些基本常数的精密测量，如硅晶格间距等。日本政府在2002年预计投入350 亿日元及新纳米科技研究；英国国家物理研究所(NPL)对表面构形测量的几何学和物理学进行了详尽的研究，绘制了各种纳米测量仪器测量范围的理论框架，其研制的微形貌纳米测量仪器测量范围是0.01nm～3nm 和0.3nm～100nm；德国物理技术研究院（PTB）的主要活动有：①使用光学干涉法和单晶硅X射线干涉法的高分辨率的线性位移计量；②改进经典的方法和将X 射线衍射与X 射线干涉用于单晶硅进行角度的测量；③研究高分辨率检测与表面和微结构之间的物理相互作用,从而给出微形貌、形状和尺寸的测量。1.3.2 纳米测量技术国内情况我国研制的“纳米测长仪”使长度测量提高到了纳米量级，并能数字化自动显示测量值。其数显分辨率达到1 nm，测量重复性(标准偏差)为0.8-1.2nm。与国际上同类仪器相比，它在分辨率、重复性、准确度和短时稳定性等主要技术指标上，都处于国际领先水平