磁控溅射ZnO薄膜成核机制及表面形貌演化动力学与研究.pdfVIP

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  • 2017-08-28 发布于安徽
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磁控溅射ZnO薄膜成核机制及表面形貌演化动力学与研究.pdf

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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’’ %$$# , , , UL: .’’ TL . JVO-: %$$# ( ) $$$72%F$M %$$#M ’’ $ M F#’7$F JHGJ 5QR,SHJ ,STSHJ !%$$# H-* . 5P . ,LE . %%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%% 磁控溅射!# 薄膜的成核机制及表面形貌 演化动力学研究! 刘志文 谷建峰 孙成伟 张庆瑜! (大连理工大学

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