真空磁控镀膜设备构造讲义培训.pptVIP

镀膜设备系统简述 TFT系统需要实现玻璃在真空环境下自动化的连续镀膜，生产线布置为“长口”字型矩形结构，共11个腔体，24台传动电机。 镀膜生产线主要划分为4个区，位于生产线左右侧的上片区和下片区，位于上下片平台间的工艺区和回传区。 TFT控制系统实现对生产过程中的真空、传动、加热、冷却水、工艺气体、溅射电源在镀膜过程中的连续控制。 真空系统 真空系统设备集中于真空室区域，由抽气设备（机械泵、罗茨泵、分子泵）、检测设备（电阻规、电离规、薄膜规）、安全阀（腔体门阀、分子泵挡板阀、旋片泵罗茨泵间自吸阀、管道阀和破空阀）；通过旋片泵 -罗茨泵-分子泵接力抽气，将腔室内压力由大气变为真空，并在生产过程中保持适合生产的真空环境。 旋式真空泵的工作原理 如下图为旋片泵的工作原理示意图，旋片泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。其结构是利用装在定子腔内偏心转子（转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小）和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。 两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分，当转子按图示方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积不断地增大，A空间的压强不断的降低，当A空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进吸气腔A，此时正处于