石英玻璃退火工艺的研究.pdfVIP

科技信息 。机械与电子0 SCIENCE＆TECHNOLOGYINFORMATION 2010年 第9期 石英玻璃退火工艺的研究 张武男 (贺利氏信越石英中国有限公司 辽宁 沈阳 110141) 摘【 要 】本文着重研究了石英产品的退火原理及工艺参数，并对虚拟温度的产生及解决办法作 了简要的阐述。 关【键词 】石英玻璃 ；退火；虚拟温度 0 引言 8=热扩散率 (1．04xlOrrd秒) = 冷却速率(℃／分钟) 在石英工业中，退火是指使用热处理方法来消除石英玻璃 中的应 当冷却速率 1O℃／分钟 ，会产生大约0．172MPa的应力 ，这种应力 力 。该工艺在生产中经常使用 ，却很少有人去了解它 ，该文章的 目的是 不会造成损坏，但更快的冷却速度会形成更大的应力，进而被应力仪 讨论退火 的基本原理 ，让人们从原子层面去认识退火过程 ，并更好地 检测出来，对产品合格和使用寿命造成一定影响。 应用于生产实践当中去。 2．2 虚拟温度 1 石英玻璃的 内应力产生机理 当石英玻璃在高温下迅速冷却后，其原子空间结构与在高温状态 下的结构相类似 。这是因为冷却速度过快，愿在没有足够的时间来重 石英玻璃在非均匀温度下就会产生应力。在任何特定温度下 ，石 新排列 ，形成这种特殊结构的温度 ，被称为石英玻璃的虚拟温度。如果 英玻璃都有其相应的原子结构 ，并且组成石英玻璃的原子空 间结构都 石英玻璃的虚拟温度高于其退火温度，将会产生严重的后果。因为其 是 “最合适 的”。原子间隙随温度的变化而改变 ，一般称之为热膨胀现 摩尔体积 (关系到密度)会产生变化 。举个例子 ，假设一根石英棒的虚 象 。当石英玻璃不均匀受热 ，就会导致不均匀膨胀 。产生应力的原因一 拟温度是 1250oC，焊接后仅需要退火去除应力就可以发货给客户 了， 般是热 的区域 向外膨胀 ，但被周围冷 的区域所限制 ，这种应力是收缩 然而在退火温度下 (1150—1180oC)，石英棒 的空 间原子结构得到充分 应力 ，一般不会造成产品的损坏。如果温度足够高能让石英玻璃软化 ， 的重新排列，虚拟温度会降低 ，但其密度也会改变 。因此，对于长杆类 应力就会得到缓解。然而，如果石英玻璃冷却速度过快 ，导致粘度增加 产品，其长度很可能会发生 O．01—0．03mm 的变化 ，进而造成产品尺寸 过快，内部原子结构来不及随下降温度调整到合适的位置 ，应力会再 超差。石英玻璃的密度，不像其它大多数玻璃，其密度会随着虚拟温度 次出现，但这种应力是一种 “拉”应力，很容易造成产品的损坏 。应力会 的降低而减小 ，因此 ，虚拟温度高于退火温度的产 品在退火后会 “变 随着温度的下降越来越大，当冷却结束时会达到很高的水平 。事实上， 长”。_3]要解决这个 问题，首先在制作原材料时要避免快速冷却 ，并且 在石英玻璃粘度大于 1O 泊时的温度称为应变点，在这种温度下 ，石 在材料使用前要退火。这样可以降低虚拟温度 ，并将其加工后的产品 英玻璃的粘度很大 ，应力不会减少。 形变量控制在最小 。直到 目前为止 ，除了用样本退火检测形变外 ，没有 其他更好的方法来检测材料的虚拟温度。 2 退火工艺 2．1 退火工艺参数 为 了减少应力 ，有必要让石英玻璃在足够高的温度下 。使原子结 构得到充分的重新排列 (通常 1小时或更少)。在升温后 15分钟 内的 温度称为退火点，此时的温度略高于应变点，粘度大约为 1O”泊。应变 点和退火点温度相差不大 ，电熔低水溶性石英 的应变温度和退火温度 分别大约是 1050℃和 1080oC。值得注