白光干涉技术在球轴承测量中的应用.pdfVIP

第 38卷 第 5期 激 光 技 术 Vo1．38，No．5 2014年 9月 LASER TECHN0LOGY September，2014 文章编号：1001—3806(2014)05—0623—04 白光干涉技术在球轴承测量中的应用 石 炜 ，李俊成 ，韩 军 ，王建国，王靖禹 (1．内蒙古科技大学 机械工程学院，包头 014010；2．坎特伯雷大学 物理科学学院应用光学系，坎特伯雷) 摘要：为了实现球轴承中球体在制造加工中快速准确的测量，采用白光干涉技术、图像处理技术和信号处理 技术组建了一整套的基于迈克尔逊干涉仪的测量系统。对白光干涉技术进行了理论分析 ，对轴承球体进行了光学 球面半径的高精度测量和粗糙度测量，取得了光洁度图像和曲率半径图像。在大量实验论证的基础上经过处理和 计算得到了精确的计算数据，光洁度分辨率可达到纳米量级，曲率也可以计算到微米量级。结果表明，利用此技术 可以对球面进行快速精确的测量，提高了加工质量和检测速度。 关键词：激光光学；全场光学相干层析成像；相移干涉法；曲率测量；粗糙度测量 ；鲁棒高斯回归滤波器 中图分类号：TH744；TN247 文献标志码：A doi：10．7510／j~s．issn．1001—3806．2014．05．010 Ballbearingmeasurementbased onwhite-lightinterferometrytechnique SH／Wei，LIJuncheng ，HANJun ，WANGJianguo，WANGJingyu (1．SchoolofMechanicalEngineering，InnerMongoliaUniversityofScienceandTechnology，Baotou014010，China；2． DepartmentofAppliedOptics，SchoolofPhysicsScience，CanterburyUniversity，Canterbury，UnitedKingdom) Abstract：Inordertoachieverapidandaccuratemeasurementofspherebearingballduringmanufacturingprocess，a setofMichelson interferometermeasurementsystem wasproposedbasedonwhitelightinterferometertechnoloyg ，image processingtechnologyand signalprocessingtechnoloyg ．Whitelightinterferometrytechniquewasanalyzed theoretically． Theprecisionand roughnessmeasurementoftheopticalsphericalradiusofsphereballbearingweremade．The finish resolution imageandthecurvatureradiusimagewereobtained．Theaccuratecalculationdatawasobtmnedafterprocessing alargenumberofexperimentaldata．Thefinishresolutioncanreachthenm levelandthecurvatureCaNbecalculatedtothe LLm leve1．Theprocessingqualityandthedetectionspeedareimproved． Key words： laser optics； full—field optical coherence tomography； phase—shifting interferometry； curvature measurement；toughnessmeasurem