测量石英晶体光轴方向厚度的光谱分析法.pdfVIP

维普资讯 第 27卷 第 11期 光 学 学 报 Vo1．27，No．11 2007年 11月 ACTA OPTICA SINICA November。2O07 文章编号 ：0253—2239(2007)11—2082—5 测量石英晶体光轴方向厚度的光谱分析法 张 姗 吴福全 郝殿中王海峰 (曲阜师范大学激光研究所 ，曲阜 273165) 摘要 ： 基于石英 晶体 的旋光色散原理，提 出了一种测量石英 晶体光轴方 向厚度的光谱分析方法 。利用光学矩阵 方法对测量原理进行了分析 ，指 出通过测量 由两个正交的偏光镜和待测石英晶体所组成 的系统的透射 曲线就可以 精确计算出待测石英晶体的厚度。在实验 的过程 中进行 了误差分析 ，分析表明选取长 的测量波段、低 的扫描速度 、 短的响应时问和小的狭缝宽度都有利于提高测量精度 ，并从理论上证明所得厚度 的精度高于 电子数显干分尺 的测 量精度 。利用三种不同的方法对两块不 同厚度 的石英 晶体进行 了测量 ，测量结果表 明利用提 出的方法所得厚度 的 精度可以达到 0．1,am，与理论分析的结果相一致 。 关键词： 光谱学；光谱分析法 ；旋光晶体；透射 曲线；厚度误差 中图分类号：0433．1 文献标识码 ：A ASpectrometerMethodforDeterminingThicknessofQuartz PlateAlongtheCrystalAxis ZhangShan WuFuquan HaoDianzhong WangHaifeng (LaserResearchInstituteofQufuNormalUniversity， fu273165) Abstract： A spectrometermethodfordeterminingthethicknessofquartzplatealongthecrystalaxisispresented basedontheopticalrotatorydispersioneffectofthequartz．Itsoperatingprincipleisanalyzedbymeansofmatrix formulation，and the resultindicatesthatthethicknessofthe quartzplatealong the crystalaxiswillbeexactly obtainedbyaccuratejudgmentofthetransmissioncurveofaquartzplatesandwichedbetweentwocrossedpolarizers． Theerrorintheexperimentisanalyzedanditisfoundthatthemeasuringaccuracywillbeimprovedbychoosing longerwaveband，1owerscanspeed，shorterresponsetimeandsmallerslitwidth．Atthesametime，thetheoretica1 analysisprovesthatthemeasuringaccuracyofthismethodishigherthan thedigitalmicrometers．Intheend，two quartzplateswithdifferentthicknessesaremeasuredbythreedifferentmethods，respectively．Itisshownthatthe accuracyofthetestedthicknessis0．1btm and isin goodagreementwith