6压电式传感器.pptVIP

第6章 压电式传感器 物理基础：压电效应 将被测量转换成电荷 6.1 压电效应 压电效应:某些电介质, 沿特定方向受力变形时, 其内部就产生极化现象, 在另一个方向产生电荷; 当外力去消后, 电荷又消失。 逆压电效应:具有压电效应的材料置于电场中时, 在特定方向会产生机械变形（电致伸缩效应）。 压电材料:具有压电效应的材料：石英晶体，压电陶瓷 压电材料的功能:机—电能量的可逆转换。 6.2 石英SiO2晶体的压电效应 光轴:纵轴方向,无压电效应,无机械变形 电轴:通过棱线垂直于光轴,电荷积累方向 机械轴:垂直于光轴与电轴,机械变形方向 6.2 石英晶体的压电效应 SiO2晶片：1个Si原子＋2个O原子 不受力时，正负平衡，各向对外不显电性； 电轴受压，机械轴变形，电轴积累电荷，上负下正； 机械轴受压变形，电轴积累电荷，上正下负； 受力方向相反时，电荷极性也翻转 6.2 石英晶体的压电效应 结论： 压电传感器可直接测动态力、加速度； 传感器输出电荷是各向力产生电荷的代数和； 非单向力测量时须考虑横向效应的影响。 6.2 石英晶体的压电效应 电荷密度：压电传感器主要用于单向应力测量 电致伸缩量： 电荷输出： 被测量：应力、力 6.2 石英晶体的压电效应 石英晶体的性能参数 压电常数:材料压电效应强弱的参数, 影响电荷输出的灵敏度; 刚度:决定压电器件的固有频率和动态特性,刚度越大固有频率越高; 介电常数: 增大传感器固有电容,消弱分布电容影响; 电阻:高的绝缘电阻减少电荷泄漏, 改善压电传感器的低频特性; 温度稳定性和时间稳定性. 6.3 压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料; 材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴; 无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，各自的极化效应被相互抵消，内极化强度为零; 因此原始的压电陶瓷呈中性，无压电性质; 极化处理后才具有压电效应. 6.3 压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷的极化处理: 原始压电陶瓷：电畴无序排列 在一定的温度下加以强电场, 电畴与电场方向一致,极化保持 取消电场,电畴方向有所恢复 剩余极化强度与电场趋于一致 陶瓷两端出现束缚电荷 陶瓷吸附外界电荷与束缚电荷平衡,对外不显电荷 受力变形时,剩余电畴方向变化,电荷平衡破坏 输出电荷与力成正比 Q=d33F . 6.3 压电陶瓷的压电效应 小结: 压电陶瓷的压电常数是变化的:极化2~3月后稳定,2年后会下将——定期标定 具有逆压电效应——刀锯补偿 压电常数远大于压电晶体；温度、时间温度性差 使用温度70℃ 材料：钛酸钡，锆钛酸铅（PZT）√ 另：压电半导体材料，高分子压电材料 6.4 压电传感器的等效电路 具有一定电容的电荷发生器 具有一定电容的电压发生器 6.4 压电传感器的等效电路 放大器等效电路 传感器与测量仪表连接时,导线的影响: 压电传感器的漏电阻Ra, 电缆的等效电容Cc, 测量电路的输入电Ri, 测量电路的输入电容Ci 漏电阻与测量电路输入电阻要求很高; 导线电容、输入电容影响传感器输出。 困难:电压放大器输入阻抗必须很高 6.4 压电传感器的等效电路 压电传感器特点 当负载无穷大时,电荷才能保留下来; 负载较小时,电荷会泄漏. 结论: 压电传感器不适应于静态测量; 压电传感器适应于动态测量:当时间常数RLCa足够大时电荷得以及时补充; RL数百兆欧以上 6.4 压电传感器的等效电路 压电晶片的连接方式 目的：提高电荷灵敏度或电压灵敏度 并联方式：电荷增加/时间常数增加 用于电荷放大器/缓变信号测量 串联方式：电压增加/时间常数减小 用于电压放大器/高频信号测量 6.5 压电传感器的信号调理电路 压电传感器测量电路的主要作用： 防止电荷泄漏——高的输入阻抗(1000MΩ) 传感器高输出阻抗变换为低阻抗输出(100Ω) 压电传感器的微弱信号放大 测量电路的组成 前置放大器(防止泄漏，阻抗变换) 二级放大器(一般放大作用) 前置放大器的类型 电压放大器(简单、廉价、可靠，精度低) 电荷放大器(高精度、高灵敏度) 6.5.1 电压放大器 测量电路简化 传感器作用于交变力 放大器输入阻抗很大时，传感器电流 6.5.1 电压放大器 放大器输入电压幅值及相位 当Ra、RL无穷大时R无穷大,即无电荷泄漏时理想输入 实际输入电压与理想输入电压幅值比 6.5.1 电压放大器 特性分析 当 时 一般要求 前置放大器等于传感器输出电压，相位差为0； 当 时 传感器电荷经Ra和Ri泄漏，测量灵敏度下降； 频率越低，灵敏度越小； 当 时 结论 压电传感